TL1200管式爐
| 型號 | TL1200-C-I | TL1200-C-II | TL1200-C-Ⅲ | TL1200-C-Ⅳ | ||
功率 | 3KW | 3KW | 4KW | 4KW | |||
爐管尺寸(mm) | Dia60(OD)X1000 | Dia80(OD)X1000 | Dia 100(OD)X1000 | Dia 120(OD)X1000 | |||
外形尺寸 （LXDXH） | 580X370X540 | 580X420X590 | 580X420X590 | 580X440X610 | |||
電源電壓 | 220V | ||||||
相數 | 單相 | ||||||
加熱元件 | 采用進口電阻絲 (瑞典Kanthal A1) 點擊進入資料下載
進口電阻絲 VS 國產電阻絲
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控制方式
| 采用宇電程序控溫儀表 1、30段程序控溫只能PID調節。 2、具有過溫保護斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
FP93控溫儀表（日本島電）（更換進口儀表，需要另外付費） 1、40段程序控溫可以分成4、2、1組程序，如果分成4組程序，每條程序為10段， 2、6組PID控制，低、中、高溫可以各用一組PID ，這樣每個溫度段都能夠控制得很準確。 3、具有過溫保護斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 4、儀表有華氏度（F）和攝氏度（C）可供選擇 5、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 6、具有自動停機功能 7、可以儲存多組程序、使用時可以任意調出。 8、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 9、儀表上有輸出功率、程序執行的段數和執行時間、程序處于升溫、恒溫、降溫狀態的顯示。 10、儀表具有跳步功能（即儀表可以跳個這一步直接執行下一步。 11、儀表具有溫度自整定的功能。
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控溫模式 | 智能PID | ||||||
斷偶保護和顯示 | 有 | ||||||
過溫保護 | 有 | ||||||
過流保護 | 有 | ||||||
爐膛材料 | 1500型氧化鋁多晶體纖維（日本進口）
進口爐膛 VS 國產爐膛 | ||||||
控制精度 | +/- 1 ℃ | ||||||
觸發器 | 移相觸發 | ||||||
電器 | 浙江正泰 | ||||||
可控硅 | 106/16E 德國西門康 | ||||||
zui高溫度 | 1200 ℃ | ||||||
額定溫度 | 1100 ℃ | ||||||
升溫速率 | ≤30 ℃/ Min （可根據要求修改） | ||||||
升溫速率 | ≤15℃/ Min | ||||||
熱電偶型號 | K 型 | ||||||
加熱段長度 | 200mm | ||||||
日本島電FP93儀表與電腦連接 控制和記錄軟件（選購） | COM變USB接口 電腦與爐子連接的數據線 FP93控溫儀表軟件（下載請點擊） FP93控溫儀表軟件安裝步聚（下載請點擊） FP93溫控儀表軟件使用說明（下載請點擊） | ||||||
真空法蘭 |
鉸鏈式法蘭（選購) 可以接電阻真空計和 水冷法蘭（選購） KF25波紋管的法蘭（選購）
普通法蘭 卡套式法蘭（選購） | ||||||
電器認證 |
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四周表面溫度 | ≤45℃ | ||||||
GX供氣系統主要參數
| 流量控制和檢測采用
D07-7C 質量流量計
| 標準量程 | 采用質子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇量程和所通氣體的類型） | ||||
zui大工作壓力 | 3MP | ||||||
準確度 | ±1.5% | ||||||
氣壓降 | <0.01MPa | ||||||
重復精度 | ±0.2% F.S | ||||||
路數 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | ||||||
接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | ||||||
系統工作壓力范圍 | 0.1~0.5 MPa | ||||||
工作溫度 | 5-45℃ | ||||||
壓力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | ||||||
靜態混氣室 | Dia50 X 400MM | ||||||
接口 | Dia6 1/4” | ||||||
VS-0.1抽氣系統
| 電源 | 220V | |||||
尺寸 | 600X600X600 | ||||||
波紋管 | KF25X1000mm | ||||||
用該系統抽爐管真空度可達 | 10 -1Pa | ||||||
真空擋板閥 | KF25 | ||||||
VRD-8真空泵
| 型號 | VRD-8 | |||||
極限分壓強 | 5X10-2 Pa | ||||||
進排氣接口 | KF25 | ||||||
電機轉速 | 1440RPM | ||||||
抽氣速率 | 2.2L/S | ||||||
電機功率 | 0.4KW | ||||||
德國Preiffer ACP15 無油多級羅茨泵 | 型號 | Preiffer ACP15 | |||||
電源 | 100-220V 550W 50/60HZ | ||||||
抽氣接口 | KF25 | ||||||
zui大抽速 | 3.8L/S | ||||||
極限真空度(Torr) | 2.2X10-1 | ||||||
zui大漏率 | < 5X10-7 | ||||||
重量 | 23KG | ||||||
低壓恒定裝置（選購） CVD系統加上該裝置后就是LPCVD | 概述 | 該裝置可以使管式爐管內壓強在1Pa到1個標準大氣壓內任意低壓下保持穩定。 | |||||
| 真空度調節范圍 | 1-100000Pa之間可調 | ||||||
| 功率 | 0.75KW | ||||||
| 電壓 | 220V | ||||||
電阻真空計 | 型號 | ZDR-1 | |||||
功率 | 25W | ||||||
真空度測量范圍 | 0.1-10 5 Pa | ||||||
電阻硅 | ZJ-52T | ||||||
瑞典（INFICON） 皮拉尼陶瓷電容真空計 （選購）
| 型號 | PCG554 | |||||
輸入電壓 | 24V 1A DC（配有220V變壓器） | ||||||
真空計接口 | KF16 | ||||||
數字顯示 | 數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr | ||||||
產品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | ||||||
重量 | 5 lbs | ||||||
檢測氣體 | 可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。 | ||||||
是否防腐 | 防腐 | ||||||
響應時間 | ≤30ms | ||||||
測量范圍 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | ||||||
分子泵機組（選購）
| 機組輸入電壓 | 380V /220V | |||||
波紋管 | KF40X1000 | ||||||
真空擋板閥 | KF40 | ||||||
機箱尺寸 | 600X600X600 | ||||||
分子泵 （方案一）
| 分子泵型號 | FJ620 | |||||
輸入電壓 | 380V | ||||||
分子泵進氣口法蘭 | DN160 | ||||||
分子泵抽氣速率L/S（對空氣） | 600 | ||||||
分子泵極限壓強（Pa) | 6×10-7 | ||||||
冷卻方式 | 水冷 | ||||||
冷卻水壓（MPa） | 0.1-0.2 | ||||||
冷卻水溫度 | <25℃ | ||||||
環境溫度 | 0~40℃ | ||||||
建議啟東壓強 | <100Pa | ||||||
前機真空泵RVP-6 （方案一）
| 功率 | 0.75KW | |||||
電壓 | 380V | ||||||
轉速 | 1450rpm | ||||||
進氣口徑 | KF25/KF40 | ||||||
前機泵抽氣速率（L/S） | 6 | ||||||
極限壓強 | 4X10 -2Pa | ||||||
德國Pfeiffer真空泵 （方案二）
| 電壓 | 220V | |||||
功率 | 110W | ||||||
極限真空度（在無泄露時） | <1E-8 mbar | ||||||
抽氣接口 | KF40 | ||||||
重量 | 150KG | ||||||
前機泵抽速 | 0.9m 3/ h | ||||||
抽氣速率（N2） | 33L/S | ||||||
復合真空計
| 復合真空計型號 | ZDF | |||||
電源 | 220V 55W 分享到： 點擊次數： 更新時間：2015-11-08 19:23:46 【打印此頁】 【關閉】上一條：TL1200-S-C單溫區4通道CVD系統 下一條：TL1400-C單溫區3通道C | ||||||
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