TL1700-1700 雙溫區管式爐
| 型號 | TL1700-1700-C-I | TL1700-1700-C-II | TL1700-1700-C-III | |
功率 | 9KW | 9KW | 12KW | ||
爐管尺寸 | Dia 60(OD) X1250mm | Dia 80(OD)X1250mm | Dia100(ODX1250mm | ||
外形尺寸 （LXDXH） | 1300X500X800 | 1300X500X800 | 1300X550X850 | ||
電源電壓 | 220V /380V | ||||
相數 | 單相 | ||||
加熱元件 | 溫區一： 1800型硅鉬棒 溫區二：1800型硅鉬棒 | ||||
控制方式
2臺儀表各自控制 | 采用宇電程序控溫儀表 1、30段程序控溫只能PID調節。 2、具有過溫保護斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1720度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
FP93控溫儀表（日本島電）（更換進口儀表，需要另外付費） 1、40段程序控溫可以分成4、2、1組程序，如果分成4組程序，每條程序為10段， 2、6組PID控制，低、中、高溫可以各用一組PID ，這樣每個溫度段都能夠控制得很準確。 3、具有過溫保護斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1720度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 4、儀表有華氏度（F）和攝氏度（C）可供選擇 5、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 6、具有自動停機功能 7、可以儲存多組程序、使用時可以任意調出。 8、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 9、儀表上有輸出功率、程序執行的段數和執行時間、程序處于升溫、恒溫、降溫狀態的顯示。 10、儀表具有跳步功能（即儀表可以跳個這一步直接執行下一步。 11、儀表具有溫度自整定的功能。
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控溫模式 | 智能PID | ||||
斷偶保護和顯示 | 有 | ||||
過溫保護 | 有 | ||||
過流保護 | 有 | ||||
爐膛材料 | 1800型氧化鋁多晶體纖維（日本進口）
進口爐膛 VS 國產爐膛 | ||||
控制精度 | +/- 1 ℃ | ||||
觸發器 | 移相觸發 | ||||
電器 | 浙江正泰 | ||||
可控硅 | 106/16E 德國西門康 | ||||
zui高溫度 | 溫區一：1700 ℃ 溫區二：1700 ℃ | ||||
額定溫度 | 溫區一：1600 ℃ 溫區二：1600 ℃ | ||||
升溫速率 | ≤20 ℃/ Min （可根據要求修改） | ||||
升溫速率 | ≤10℃/ Min | ||||
熱電偶型號 | 溫區一：B 型 溫區二：B型 | ||||
加熱段長度 | 溫區一：300mm 溫區二：300 mm | ||||
日本島電FP93儀表與電腦連接 控制和記錄軟件（選購） | COM變USB接口 電腦與爐子連接的數據線 FP93控溫儀表軟件（下載請點擊） FP93控溫儀表軟件安裝步聚（下載請點擊） FP93溫控儀表軟件使用說明（下載請點擊） | ||||
真空法蘭 |
鉸鏈式法蘭（選購） 可以接電阻真空計和 水冷法蘭（選購） KF25波紋管的法蘭（右側）
普通法蘭 （左側） 卡套式法蘭（選購） | ||||
電器認證 |
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四周表面溫度 | ≤45℃ | ||||
GX供氣系統主要參數
流量控制和檢測采用
D07-7C 質量流量計 | 質量流量計標準量程 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇量程和所通氣體的類型） | |||
氣路路數 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | ||||
質量流量計準確度 | ±1.5% | ||||
質量流量計氣壓降 | <0.01MPa | ||||
質量流量計重復精度 | ±0.2% F.S | ||||
質子流量計zui大工作壓力 | 3MPa | ||||
接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | ||||
供氣系統工作壓力范圍 | 0.1~0.5 MPa | ||||
供氣系統工作溫度 | 5-45℃ | ||||
壓力真空表范圍 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | ||||
靜態混氣室 | Dia50 X 400MM | ||||
卡套接口 | Dia6mm | ||||
VS-0.1抽氣系統
| 電源 | 220V | |||
尺寸 | 600X600X600 | ||||
波紋管 | KF25X1000mm | ||||
用該系統抽爐管真空度可達 | 10 -1Pa | ||||
真空擋板閥 | KF25 | ||||
VRD-8真空泵 | 型號 | VRD-8 | |||
極限分壓強 | 5X10-2 Pa | ||||
進排氣接口 | KF25 | ||||
電機轉速 | 1440RPM | ||||
抽氣速率 | 2.2L/S | ||||
電機功率 | 0.4KW | ||||
德國Preiffer ACP15 無油多級羅茨泵(選購) | 型號 | Preiffer ACP15 | |||
| 電源 | 100-220V 550W 50/60HZ | ||||
| 抽氣接口 | KF25 | ||||
| zui大抽速 | 3.8L/S | ||||
| 極限真空度(Torr) | 2.2X10-1 | ||||
| zui大漏率 | < 5X10-7 | ||||
| 重量 | 23KG | ||||
低壓恒定裝置（選購） CVD系統加上該裝置后就是LPCVD | 概述 | 該裝置可以使管式爐管內壓強在1Pa到1個標準大氣壓內任意低壓下保持穩定。 | |||
| 真空度調節范圍（Pa） | 1-100000Pa之間可調 | ||||
| 功率 | 0.75KW | ||||
| 輸入電壓 | 220V | ||||
電阻真空計 | 型號 | ZDR-1 | |||
功率 | 25W | ||||
真空度測量范圍 | 0.1-10 5 Pa | ||||
電阻硅 | ZJ-52T | ||||
瑞典（INFICON） 皮拉尼陶瓷電容真空計 （選購）
| 型號 | PCG554 | |||
| 輸入電壓 | 24V 1A DC（配有220V變壓器） | ||||
| 真空計接口 | KF16 | ||||
| 數字顯示 | 數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr | ||||
| 產品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | ||||
| 重量 | 5 lbs | ||||
| 檢測氣體 | 可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。 | ||||
| 是否防腐 | 防腐 | ||||
| 響應時間 | ≤30ms | ||||
| 測量范圍 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | ||||
分子泵機組（選購）
| 機組輸入電壓 | 380V | |||
波紋管 | KF40X1000 | ||||
真空擋板閥 | KF40 | ||||
機箱尺寸 | 600X600X600 | ||||
分子泵 （方案一） | 分子泵型號 | FJ620 | |||
輸入電壓 | 380V | ||||
分子泵進氣口法蘭 | DN160 | ||||
分子泵抽氣速率L/S（對空氣） | 600 | ||||
分子泵極限壓強（Pa) | 6×10-7 | ||||
冷卻方式 | 水冷 | ||||
冷卻水壓（MPa） | 0.1-0.2 | ||||
冷卻水溫度 | <25℃ | ||||
環境溫度 | 0~40℃ | ||||
建議啟東壓強 | <100Pa | ||||
抽氣口法蘭 | KF40 | ||||
前機真空泵RVP-6 （方案一）
| 功率 | 0.75KW | |||
電壓 | 380V | ||||
轉速 | 1450rpm | ||||
進氣口徑 | KF25/KF40 | ||||
前機泵抽氣速率（L/S） | 6 | ||||
極限壓強 | 4X10 -2Pa | ||||
| 德國Pfeiffer真空泵 （方案二） | 電壓 | 220V | |||
| 功率 | 110W | ||||
| 極限真空度（在無泄露時） | <1E-8 mbar | ||||
| 抽氣接口 | KF40 | ||||
| 重量 | 150KG | ||||
| 前機泵抽速 | 0.9m 3/ h | ||||
| 抽氣速率（N2） | 33L/S | ||||
復合真空計 | 復合真空計型號 | ZDF | |||
| 電源 | 220V 55W | ||||
| 控制精度 | ± 1% | ||||
真空計測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | ||||
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