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RTL1200-轉動真空管式爐

型號

RTL1200-PECVD-I                              

功率

3.5KW

  爐管尺寸

Dia 60(OD) X1200mm

       外形尺寸

1300X420X1200

電源電壓

220V 

相數

單相 

加熱元件

  電阻絲  進口 瑞典Canthal  A1 （電阻絲可承諾保修2年）   點擊進入資料下載

                  進口電阻絲                     VS                       國產電阻絲

控制方式

采用宇電程序控溫儀表

1、30段程序控溫只能PID調節。

2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。

3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配）

4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

FP93控溫儀表（日本島電）（更換進口儀表，需要另外付費）

1、40段程序控溫可以分成4、2、1組程序，如果分成4組程序，每條程序為10段，

2、6組PID控制，低、中、高溫可以各用一組PID ，這樣每個溫度段都能夠控制得很準確。

3、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。

4、儀表有華氏度（F）和攝氏度（C）可供選擇

5、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配）

6、具有自動停機功能

7、可以儲存多組程序、使用時可以任意調出。

8、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

9、儀表上有輸出功率、程序執行的段數和執行時間、程序處于升溫、恒溫、降溫狀態的顯示。

10、儀表具有跳步功能（即儀表可以跳個這一步直接執行下一步。

11、儀表具有溫度自整定的功能。

    控溫模式

智能PID

斷偶保護和顯示

有

   過溫保護

有

   過流保護

有

爐膛材料

氧化鋁多晶體纖維（日本進口）

                       進口爐膛                                        VS                      國產爐膛

控制精度

+/- 1 ℃

觸發器

移相觸發

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國西門康

zui高溫度

1200 ℃

額定溫度

1100 ℃

升溫速率

≤30 ℃/ Min （可根據要求修改）

升溫速率

≤15 ℃/ Min

熱電偶型號

K型

加熱段長度

400mm

真空法蘭

鉸鏈式法蘭（選購）     可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購）

水冷法蘭（選購）

卡套式法蘭（選購)

普通法蘭

電器認證

四周表面溫度

≤45℃

等離子體射頻電源

功率輸出范圍

  0-500W

zui大反射功率

   10W

信號頻率

  13.56MHZ±0.005%

噪聲

<30 dB.

冷卻方式

  空氣冷卻

輸入電源

  208-240V  50/60HZ

GX供氣系統主要參數

標準量程

采用質子流量控制器       5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  （你可以任意選擇量程）

準確度

  ±1.5%

氣壓降

<0.01MPa

重復精度

±0.2% F.S

zui大工作壓力

3MP

VS-0.1抽氣系統

電源

  220V/ 380V   380W

抽氣速率

 2L/S

電阻真空計

  ZDR-I

真空度測量范圍

  0.1-10 ⁵ Pa

真空泵

  VRD-8

波紋管

 KF25X1000mm

系統真空度

 10 ^-1Pa