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型號

VLF-1                VLF-2               VLF-3              VLF-4

zui大熔煉重量（按鈦液計算）

0.3KG                0.5KG                1KG                 2KG

            zui高加熱溫度

1900                  1900                1900                 1900

懸浮電源

zui大輸入功率

60KW                80KW                120KW              160KW

zui大輸出功率

54KW                72KW               108KW                144KW

采用電源

IGBT懸浮電源

振蕩頻率

15-30KHZ（頻率自動跟蹤）

冷卻水要求

電壓≥0.2MPa              坩堝 ≥0.35MPa 

感應線圈

懸浮爐線圈

輸入電壓

三相380V   50 HZ

融化速率

10~15min

坩堝

懸浮水冷銅坩堝

         控溫模式

智能PID

      腔體真空度

< 5X10 ^-3Pa

       斷偶保護和顯示

有

          過溫保護

有

           過流保護

有

      欠壓保護（水壓）

有

        控制精度

+/-  1~ 5 ℃（600度以上）

       溫度檢測方式

  B型熱電偶或紅外測溫儀

       zui大升溫速率

 100度/Min

      坩堝可傾倒旋轉角度

0-90度

         真空腔體內是否可接水冷坩堝

 可以

           觀察窗尺寸

  Dia 90mm

           冷水機（選配）

真空機組

機組輸入電壓

380V /220V

波紋管

KF40X1000

真空擋板閥

KF40

               分子泵

               （方案一）

 分子泵型號

  FJ620

  輸入電壓

 220V

  分子泵進氣口法蘭

  DN160

分子泵抽氣速率L/S（對空氣）

  600

分子泵極限壓強（Pa)

6×10^-7

冷卻方式

 水冷

冷卻水壓（MPa）

 0.1-0.2

冷卻水溫度

<25℃

環境溫度

0~40℃

建議啟東壓強

<100Pa

      前機真空泵RVP-6

功率

0.75KW

電壓

220V

轉速

1450rpm

進氣口徑

 KF25/KF40

前機泵抽氣速率（L/S）

6

極限壓強

4X10 ^-2Pa

    擴散泵TK150

   （方案二）

電壓

220V

功率

1000W

極限真空度（在無泄露時）

<1E-5 Pa

進氣接口

DN150

出氣接口

DN40

注入油量

0.3L

抽氣速率（N2）

1000L/S

復合真空計

復合真空計型號

ZDF

 電源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空計測量范圍

10^-5 -10 ⁵ Pa