寧波市鄞州瑾瑞儀器設(shè)備有限公司
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橢圓偏振法測量的原理很早就已提出 ,相應(yīng)的測試方法和設(shè)備也不斷地被改進(jìn)和創(chuàng)新 ,使得橢圓偏振法成為重要的測試手段 ,廣泛地應(yīng)用在光學(xué)、材料、生物、醫(yī)學(xué)等各個領(lǐng)域〔1〕.其中測量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數(shù)是橢圓偏振法Z基本、也是非常重要的應(yīng)用之一
技術(shù)參數(shù)：
測量范圍：1nm～4000nm；
測量zui小值：≤1nm；
鍍膜折射率范圍：1.300 ~ 10.000
入射角：40°~90° 誤差≤0.05°
偏振器方位角讀數(shù)范圍：0°~180°
偏振器步進(jìn)角：0.0375°/步
測量精度：在10nm處誤差為±0.5nm
光學(xué)中心高度：75mm
允許樣品尺寸直徑：φ10mm~φ120mm
厚度：≤10mm
儀器特點：
儀器采用消光式橢圓偏振方式測量，具有精度高、自動控制等特點
光源采用氦氖激光，波長精度高
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件對采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式，適用于
不同需要，同時軟件有完整版及學(xué)生版兩種版本，適于教學(xué)要求。
成套性：
主機(jī)，USB線，軟件（需配計算機(jī)）
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