日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設(shè)備LPE爐
■設(shè)備概述
這是一種LPE（液體，相位，外延）薄膜晶體制造設(shè)備，擁有100多項日本交付記錄。 它由高精度立式管式爐，旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動軸和具有溫度調(diào)節(jié)精度的控制單元組成，可實現(xiàn)高效的薄膜晶體生產(chǎn)。
薄膜晶體生產(chǎn)
●特長
○優(yōu)異的浸泡特性
○高精度樣品軸旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動機構(gòu)
○可以添加到現(xiàn)有的熔爐中（有限制）
●選項
○惰性氣體導(dǎo)入機構(gòu)
○電信號潤濕接點
○排氣罩
‥
○根據(jù)實際制造過程進(jìn)行計算機自動操作控制（也可以中斷手動操作）
通過事先輸入過程詳細(xì)信息，目的地，移動速度，旋轉(zhuǎn)狀態(tài)和旋轉(zhuǎn)速度將自動以值執(zhí)行。
日本motoyama薄膜晶體生產(chǎn)設(shè)備LPE爐
| LPE 薄膜結(jié)晶製造裝置 仕様 | |
| ヒータ容量 | 単相 200V 2.3kW×3ゾーン |
| 加熱室寸法 徑×高さ mm | φ280×H650 mm |
| 常用溫度 | 800℃～900℃ |
| gao溫度 | 1200℃ |
| 溫度分布 | ±2℃ (空爐安定時 φ100×H200mmの空間 at850℃） |
| 溫度変動幅 | ±0.2℃ (空爐安定時 φ100×H200mmの空間 at850℃） |
| 発熱體 | SSSヒータ |
| 爐心管 | φ220×φ205×L800mm |
| LPE爐 駆動部(試料軸) 仕様 | |
| 昇降速度 | 20～300mm/min |
| 停止精度 | ±1mm以內(nèi) |
| 回転方法 | 正転/逆転 |
| 回転速度 | 20～300rpm (ソフトスタート付) |
| 回転數(shù)変動精度 | ±1%FS以內(nèi) |
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