UV 解膠機
軟件控制UV照射機UPA型，以PLC控制單片晶圓的UV膠膜照射過程，並隨時顯示實際執行的各項參數。
直徑達220㎜的照射窗口，可處理8"至12"的標準規格晶圓。光源可更換更大面積的照射器。
特點：
桌上型設計－安裝簡單。
多功能控制面板－操作方便、穩定度高、維修容易，並可完成遠端控制的需求，依需求修改控制模式，更改操作螢幕之字型等。
全程監視系統－UVLED紫外燈
1.采用UV冷光源，代替了傳統的高壓燈，經過試驗認證，使用壽命比普通燈壽命長數十倍以上，安全性高，熱量小，功耗低
2.一鍵式全自動根據設定完成所有操作，在達到照射時間后會自動關閉，不需要啟動和等待時間。
3.采用觸摸屏作為人機界面，集成操作和錯誤，報警顯示
4.使用于3inch～12inch的wafer，frame可以定制
功能特點：適用于半導體晶圓切割后的UV解膠工序
序號 | 配件 | 項目 | 單位 | 技術要求 |
1 |
控制系統 （UVSF81T）
| 電壓 | 220V | |
2 | 控制方式 | 屏幕觸控/腳踏/RS232/PLC | ||
3 | 照射功率可調范圍 | 10%-100可調 | ||
4 | 照射模式 | 手動:啟動后常亮 | ||
5 | 自動:設定照射計時時間() | |||
6 | 階梯:實現階梯照射(1-20步數) | |||
7 | 循環階梯:單次/無限 | |||
8 | 通信控制 | RS232串口:實現數據讀寫，LED開關及參數控制 | ||
9 | IO接口:LED開關控制及運行狀態輸出 | |||
10 |
照射頭 （SFHD-250250） | 散熱方式 | 風冷 | |
11 | 波長范圍 | 365±5nm | ||
12 | 外形結構尺寸 | mm | 280X280X92 | |
13 | 發光尺寸 | mm | 250X250 | |
14 | 建議距離范圍 | mm | 15-20 | |
15 | 峰值照射強度(MAX) | mW | 400 | |
16 | 電功率 | W | 1000 | |
17 | 烘箱 （UVOV） | 外形尺寸 | mm | 580X550X225 |
18 | 產品放置尺寸 | mm | 356X400 | |
19 | 電源線 | 電纜 | m | 2 |
20 | 連接線 | 拖鏈電纜 | m | 2 |
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