批發氧化爐專用熱電偶 安徽天康熱電偶生產廠家
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多晶鑄錠爐熱偶、擴散爐專用熱電偶、鑄錠爐熱電偶、profile TC、Paddle TC、Spike TC多點式擴散爐熱電偶等擴散爐熱電偶用于光伏產業、半導體的開發與研制、科研領域、單位、進口設備(如:Centrotherm擴散爐設備、ALD真空感應爐、GT Solar 的 DSS 爐等)、燒結爐、退火爐、真空爐、氧化爐、擴散爐等,可溶化多晶硅、生長多晶硅錠、單晶硅、非晶硅、無定形硅和玻璃等工藝測溫。
擴散爐熱電偶:
半導體擴散爐熱電偶分為:多晶鑄錠爐熱偶、擴散爐專用熱電偶、鑄錠爐熱電偶、profile TC、Paddle TC、Spike TC多點式擴散爐熱電偶等,各種產品形態不一,大小與結構也盡不相同。做為高精度擴散爐熱電偶來說,為各大光伏產業帶來了許多幫助。該產品為了生產加工PECVD的隔離導電性,外表的絕緣采用透明高純度石英管或高純度99%剛玉管制造而成,采用多個點位 測量,也有用戶采用多點測量法計算出爐內的平均值從而獲得應有的數據。
溫度測量在0~1800℃中使用,測量點分為單點和多點,點可達8個點的測量,精度符合國際標準,工業等級I級,1500度誤差2℃不到,精度相當高,代替進口產品。擴散爐熱電偶用于光伏產業、半導體的開發與研制、科研領域、單位、進口設備(如:Centrotherm擴散爐設備、ALD真空感應爐、GT Solar 的 DSS 爐等)、燒結爐、退火爐、真空爐、氧化爐、擴散爐等,可溶化多晶硅、生長多晶硅錠、單晶硅、非晶硅、無定形硅和玻璃等工藝測溫。
技術參數:
1、符合IEC584 GB/T18404-2001標準
2、精度等級:CLASS-A:% ;CLASS-B:%
3、Spike TC是用來測量與控制爐管外的各點溫度
4、profile TC與Paddle TC是用來測量與控制爐管內各點溫度
5、與spike和profile配套使用,可自動切換方式進行控溫
6、壽命長、精度高、穩定性好、交貨期短、可代替進口
7、擴散爐熱電偶總長含頭1750mm。(5點長:1700、1530、1200、870、700)
擴散爐熱電偶產品選型:
















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