產品介紹

活動區域：25 mm2

響應度R@13nm： A/W

響應度R@254nm： A/W

反向擊穿電壓，VR： V

電容，C：40pF（典型），60 pF（max）

上升時間VR = 30V，RL =50Ω：200 nm

分流電阻Vr =±10mV ：5 MOhms

電極間電阻：5,000（min），10,000（典型），15,000（max）歐姆

ID的溫度系數：次/oC

位置非線性：±1 ％（典型），±2％（max）

產品參數

ODD-SXUV-DLPSD，雙側UV / EUV亞微米位置分辨率傳感器。新設備在暴露于紫外線和/或極紫外輻射后可提供高度穩定的響應。它采用TO-8無窗口封裝，可大程度減少暴露于強烈的UV/EUV光子后二極管的響應度變化。ODD-SXUV-DLPSD的有效面積為5 mm x 5 mm，非常適合高級光刻應用以及需要使用200 nm以下波長的任何其他定位應用。