隨著技術的日益進步，特別是近年來引入微機技術后，采用X射線鍍層測厚儀 向微型、智能、多功能、高精度、實用化的方向進了一步。測量的分辨率已達微米，精度可達到1%，有了大幅度的提高。它適用范圍廣，量程寬、操作簡便且價廉，是工業和科研使用廣泛的測厚儀器。

　　Ux-720探測系統

　　功能：對樣品特征X射線進行探測，將采集來的信號進行數據處理，并將處理結果傳輸給計算機。

　　類型：Si-PIN X-123(美國)

　　Be窗 1mil()

　　分辨率：145±5eV

　　系統峰背比：≥ 6200/1

　　能量響應范圍：1keV — 40keV

　　推薦計數率：5000cps

　　Ux-720微動平臺

　　載物測試平臺，微調裝置在儀器右側，通過旋轉按鈕來調節樣品的移動，移動范圍為X軸和Y軸各15mm。結合260萬像素的高清CCD，對測試樣品進行定位，防止樣品放置好后關閉樣品蓋產生振動而使測試位置發生變化導致測試不準確。

　　X射線和β射線法是無接觸無損測量，測量范圍較小，X射線法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號大于3的鍍層測量。電容法僅在薄導電體的絕緣覆層測厚時采用。