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　　由光源激發樣品所產生的特征X射線直接進入探測器，探測器將光信號轉化為電信號，由主放大器輸出的脈沖傳送到ADC（模數轉換器），脈沖幅度的模擬信號在這里轉換成數字信號，產生的數字作為與多道分析器（MCA）連接的地址，然后根據這些地址分檢不同的脈沖即X射線的能量，并記錄相應的脈沖數目。

　　檢測器直接測定的是元素X射線熒光的強度，而我們關心的是元素的含量。利用X射線熒光的強度與元素含量存在比例關系，我們通過測定已知含量的標準樣品建立工作曲線(安裝工程師設定)，再根據待測樣品的X射線熒光的強度通過計算機自動換算為含量值。

　　X熒光光譜儀（XRF）由激發源（X射線管）和探測系統構成。X射線管產生入射X射線（一次X射線），激發被測樣品，產生X熒光（二次X射線），探測器對X熒光進行檢測。