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　　等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的"活性"組分包括：離子、電子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等目的 。

　　等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性"組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。

　　在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面．以達到清洗目的．

　　真空等離子清洗機是利用等離子體內的各種具有高能量的物質的活化作用，將附著在物體表面的污垢剝離去除。下面以氧氣等離子體去除物體表面油脂污垢為例，說明這些作用。等離子體對油脂污垢的作用，類似于使油脂污垢發生燃燒反應;但不同之處是其在低溫情況下發生的“燃燒"。其基本原理:在氧氣等離子體中的氧原子自由基、激發態的氧氣分子、電子以及紫外線的共同作用下，油脂分子終被氧化成水和二氧化碳分子，并從物體表面被清除。