SWIM-1510MS白光干涉儀器SWIM-1510MS的詳細資料：白光干涉儀器SWIM-1510MSSWIM1510MS產品特點及用途 結合光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結合顯微物鏡與干涉儀、不需要復雜光調整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等優點，可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應用領域包含● 晶體（Wafer）● 光盤/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk））● 平面電組件（MEMS Components）● 平面液晶顯示器（LCD）● 高密度線路印刷電路板（HDI PCB））● IC封裝（IC Package）） 以上其它材料分析與組件微表面研究專業級的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）● 提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析● 提供自動表面平整化處理功能● 提供高階標準片的軟件自校功能● 深度/高度分析功能提供線型分析與區域分析等兩種方式● 線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度● （waviness）的測量分析。可提供多達17種的ISO量測參數與4種額外量測數據（Wafer）● 區域分析方式提供圖形分析與統計分析。● 具有平滑化、銳化與數字過濾波等多種二維快速利葉轉換（FFT）處理功能。● 量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出專業級的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）● 系統硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光干涉條紋● 垂直高度可達0.1nm● 高度的分析算法則，讓你不在苦候測量結果● 垂直掃描范圍的設定輕松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇● 平臺XYZ位置數顯示，使檢標的尋找快速又便利● 具有手動/自動光強度調整功能以取得的干涉條紋對比。● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇。● 具有的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌。● 具有自動布補點功能● 可自行設定掃描方向技術規格參數型號SWIM1510MS系統配備顯微鏡、掃描控制器、移動平臺、取像單元、個人電腦顯微鏡單眼顯微鏡（標準配件）干涉物鏡（選配）放大率10X 20X 50視野（ mm）0.5 0.25 0.1光學解析度（mm）1.12 0.84 0.61影像縮放1.0X（標配） 0.5X（選配）垂直掃描控制器掃描范圍100um 400um掃描解析度0.1nm掃描模式自動光強度調整自動/手動掃描速度12nm/s樣品移動平臺X、Y平面移動平面150mm100mm,手動（標準配件）Z軸移動平臺80mm,手動（標準配件）位置數位顯示單元三軸光學尺與三軸數位顯示器（解析度 1um）偏移調整平臺手動取像單元影像感測量面型CCD（標準配件）感測器解析度640480（標準配件）電腦配置Pentium-Computer ,17"LCD Monitor,120G以上硬盤分析軟體MS-Windows相容的資料擷取與分析軟體 包含ISO粗糙度/階高分析，快速薄利葉轉換和濾波，多樣的2D和3D觀測視角圖，外形分析，圖像縮放，標準影像檔案格式轉換等等階高標準片（選配）50nm170nm230nm470nm1800nm