Newport 微型鋼線性位移臺(tái)

MFA 是 Newport 鋼位移臺(tái)系列的成員之一，采用緊湊的封裝，專為出色的熱穩(wěn)定性、剛度和載重能力而生。相對(duì)于位移臺(tái)的尺寸，微型 MFA 是一種低成本選擇，可在空間受限的應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)精密運(yùn)動(dòng)。

• 全鋼結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)高剛度和熱穩(wěn)定性
• 緊湊型設(shè)計(jì)用于空間有限的應(yīng)用
• 剛性雙列線性滾珠軸承
• 真空兼容版本至 10-6Â hPa。
• 即插即用 - ESP 兼容
• 高分辨率及編碼器反饋可實(shí)現(xiàn) 100 nm 靈敏度的超平滑運(yùn)動(dòng)
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• Newport 微型鋼線性位移臺(tái)技術(shù)參數(shù)

• 行程范圍

  25 mm

• 大速度

  2.5 mm/s

• 小位移增量

  0.10 µm

• 中心負(fù)載

  50 N

• 軸向負(fù)載 (+Cx)

  10 N

• 逆軸向負(fù)載 (-Cx)

  -10 N

• 精度，典型值

  ±0.7 µm

• 精度，保證值

  ±3.0 µm

• 單向重復(fù)精度，典型值

  ±0.08 µm

• 單向重復(fù)精度，保證值

  ±0.15 µm

• 雙向重復(fù)精度，典型值

  ±0.15 µm

• 雙向重復(fù)精度，保證值

  ±0.75 µm

• 俯仰，典型值

  ±25 µrad

• 俯仰，保證值

  ±100 µrad

• 俯仰順應(yīng)性

  80 µrad/Nm  

• 偏擺，典型值

  ±30 µrad

• 偏擺，保證值

  ±50 µrad

• 偏擺順應(yīng)性

  80 µrad/Nm

• 滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性

  60 µrad/Nm  

• 原點(diǎn)重復(fù)精度

  ±2.5 µm

• 電纜長度

  3 m  

• 端口類型

  DB25 Male

• 真空兼容性

  No

• 螺紋類型

  M2 and M3

• 重量

  0.63 kg

• MTBF

  10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)

• RoHS

  Compliant

• 大功率密度

  10 W

• 兼容的探頭

  SMC100CC