ULTRAlign™ 精密 XYZ 定位平移臺
562 系列 ULTRAlign™ 線性平移臺是 3 軸平移臺，配有水平安裝平臺，可實現you秀的穩定性和較高的載重能力。交叉滾子軸承和精密制造的軸承表面，可在確保偏差小于 100 µrad 的情況下進行線性平移。

• 具有較大水平平臺的 XYZ 位移臺
• 不銹鋼體提供剛性支撐，載重能力高達 35 磅
• 每個軸具有 13 mm 的行程，均經過單獨測試并可保證偏差 < 100 µrad
• 硬化鋼的交叉滾子軸承可用于高剛性和精密的運動
• 左側和右側配置

ULTRAlign™ 精密 XYZ 定位平移臺特征

預裝的交叉滾子軸承

預裝的交叉滾子軸承提供可重復的零粘滑線性運動、可忽略不計的側向游隙。滾輪條使圓柱形滾輪保持交替傾斜 90°，以確保與硬化和接地路線的恒定線性接觸。

用于對準的大負載位移臺

562 系列 ULTRAlign™ 線性位移臺由 3 軸不銹鋼位移臺構成，構造堅固，具有更強的負載能力（高達 35 磅）。堅固的設計和更高的質量也使它們非常適合于使用度高的工業制造和研究應用，同時具有更強的熱穩定性。交叉滾子軸承和精密加工的軸承表面（類似于 461 ULTRAlign 系列）保證了沿軸運動的平滑，并且較大直徑軸承增加了位移臺的剛度。使用六軸干涉儀進行校驗以獲得優異的線性行程（任何軸的角偏差均小于 100 µrad），確保實現的精度。每個位移臺的軸都配有零干擾鎖定機制，以保證在鎖定或解鎖時維持亞微米級的定位精度。

全不銹鋼結構