XM 系列超線性平移臺可提供持續(xù)、可靠的動力性能,運動精度可以達到 1 nm。如此*的定位能力使其成為各種要求苛刻、突破性應(yīng)用的理想選擇。
性能,小增量運動為 1 nm
非接觸直接驅(qū)動系統(tǒng),精度、動態(tài)性能且操作可靠
亞納米級玻璃標度編碼器,重復(fù)精度為 80 nm
超大型無鐵心線性電機可限度地減少發(fā)熱
抗蠕變交叉滾子軸承可確保無波紋運動
可選花崗巖底座可確保超平穩(wěn)安裝條件以實現(xiàn)性能
特征
適用于激光加工應(yīng)用
3軸超
可以通過命令控制 1 nm 位移步長
的中心驅(qū)動、無鐵、直接驅(qū)動線性電機
配套的抗蠕變交叉滾子軸承可實現(xiàn)控制
面向 XY 組件的 T 形托架設(shè)計
具有超表面平整度的花崗巖底座
誤差顯示服務(wù)
用于超可重復(fù)移動的高線性玻璃標尺
電動線性位移臺,線性電機,50mm行程,100N載重,M4和M6
型號: XMS50-S
XMS50-S超性能線性位移臺具有的動態(tài)性能,能夠在50mm的行程范圍內(nèi)持續(xù)、可靠地移動至1nm。且緊湊XM級在復(fù)雜的軌跡上支持魯棒的、可重復(fù)的運動,具有的精度。XM性能采用設(shè)計的部件和設(shè)計,限度地減少磨損和電機發(fā)熱,讓您的長期運動投資化。XM-S位移臺是一種超的解決方案,適用于激光加工、半導體晶片加工、傳感器測試和校準、超裝配以及其他具有高動態(tài)響應(yīng)的掃描應(yīng)用。XMS-S級生產(chǎn)線旨在與XPS-D控制器一起使用。 需要相關(guān)的驅(qū)動模塊和電纜套件,所有-S位移臺必須單獨購買。(見下文附件部分)。
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