TMC 主動隔振系統(tǒng) STACIS III

產(chǎn)品介紹：

STACIS®III是進(jìn)的主動振動隔離系統(tǒng)。采用的慣性振動傳感器，復(fù)雜的控制算法，和進(jìn)的壓電致動器。STACIS通過連續(xù)測量地板活動、擴(kuò)大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進(jìn)行實(shí)時(shí)隔離振動。

初被設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體工廠的顯微光刻、計(jì)量和檢測設(shè)備的隔振，STACIS現(xiàn)在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，包括但不局限于半導(dǎo)體晶圓廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米加工設(shè)備和材料研究。

STACIS III包括一個(gè)改進(jìn)的數(shù)字控制器——DC-2020。它的前后面板上有雙核處理器，以太網(wǎng)和USB串口，這個(gè)控制系統(tǒng)為用戶提供了一個(gè)現(xiàn)代的、易于使用的圖形用戶界面(GUI)。

擁有在世界各地的數(shù)百個(gè)成功安裝案例，STACIS對于大部分振動敏感儀器來說都是理想的振動消除系統(tǒng)。

DC-2020 for STACIS III：
帶有圖形化用戶界面的新代STACIS數(shù)字控制器
STACIS® 系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置DC-2020，用戶無需單獨(dú)選購。
STACIS® 系統(tǒng)安裝在為客戶定制設(shè)計(jì)的 TMC Quiet Island® 上subfloor ，為電子束光刻提供消震

STACIS® III特征及優(yōu)點(diǎn)：
? 新改進(jìn)型DC-2020數(shù)字控制器，提供易于使用的圖形用戶界面
? 隔振開始于0.6赫茲，1Hz時(shí)達(dá)到40％至70％的隔離率
? 頻率2赫茲和更高時(shí)，垂直和水平隔震率大于90％
? 降低基礎(chǔ)設(shè)施的要求和建設(shè)成本，即使有較大外界震動設(shè)備也可正常運(yùn)行
? 有效隔震范圍，0.6赫茲到150赫茲
? 眾多用戶的認(rèn)可和肯定
? 6向自由度硬安裝設(shè)計(jì)，無需空氣懸架
? *的控制系統(tǒng)無需定期重新校準(zhǔn)
? point-of-use設(shè)計(jì)方案，與客戶現(xiàn)有隔振系統(tǒng)無縫兼容
? 隨著外部環(huán)境改變，系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)以適應(yīng)不同外部震動情形
? TMC的STACIS®技術(shù)使用壓電執(zhí)行器主動消振
? 數(shù)字控制器與基于PC的圖形用戶界面（GUI）
? 改善陳舊設(shè)施的隔震能力，以適應(yīng)設(shè)備要求
? 與各樓層高度和樓子的幾何形狀，晶圓廠兼容
? 提高客戶產(chǎn)量，質(zhì)量和成品率
? 符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)
? zui寬的主動隔振帶寬，的低頻隔振效果
? 亞赫茲的主動震動消除，主要在0.6-6Hz頻段內(nèi)的隔振
? 可堆疊式設(shè)計(jì)
? 主動硬式安裝結(jié)構(gòu)，而非軟式懸浮，無低頻漂移：主動元件與剛性彈簧相連
? 被動彈簧濾除了來自Stacis傳感器的負(fù)載諧振，需要的調(diào)諧非常少，甚至無需調(diào)諧
? 由于阻抗不匹配，可兼容儀器內(nèi)部隔離器
? 大負(fù)載，可達(dá) 2000kg
? 市場是zui的隔振系統(tǒng)

STACIS用戶及應(yīng)用領(lǐng)域：
1、微電子、半導(dǎo)體

?晶片檢測

?顯微光刻技術(shù)

?掩膜校準(zhǔn)
2、科學(xué)研究、納米技術(shù)

?SEM、TEM

?STEM、SPM

3、激光臺

?生命科學(xué)、研發(fā)

4、工業(yè)應(yīng)用

?加工

為什么要選擇主動系統(tǒng)？
?從<1Hz開始強(qiáng)烈消除地面震動，氣動平臺在這低頻處無法起到隔振
?提高吞吐量、質(zhì)量、生產(chǎn)量
?更加細(xì)小特色的成像能力
?研究前沿
?比氣動平臺更穩(wěn)定
?滿足SEM標(biāo)準(zhǔn)地點(diǎn)安裝參數(shù)的唯①解決方案
?使得新實(shí)驗(yàn)室及研究設(shè)備的工程造價(jià)更低

為何選擇主動系統(tǒng), 為何選擇STACIS ?
?正中研究者、科學(xué)家、設(shè)計(jì)者對于無振動環(huán)境的需求
?市場上強(qiáng)勁的低頻隔振系統(tǒng)。
?目前，所有的SEM廠商都公布了安裝參數(shù)要求，其需要的震動參數(shù)需要主動隔振系統(tǒng)
?STACIS 發(fā)明于1990年, 經(jīng)TMC發(fā)展，開發(fā)了數(shù)以千計(jì)的安裝系統(tǒng)，這為隔振控制領(lǐng)域提供了可靠技術(shù).

STACIS相比氣動隔離器剛性大400倍 ?

穩(wěn)定時(shí)間作為對擾動的響應(yīng)，由于的串聯(lián)式設(shè)計(jì)，而大大縮短，理想應(yīng)用于機(jī)械制造、動態(tài)負(fù)載、激光或者光源需要安裝的獨(dú)立剛性臺面的情況下。

如下優(yōu)勢在業(yè)內(nèi)都是被認(rèn)可的 :
?STACIS的主動隔振帶寬為 0.6Hz - 150Hz
?6個(gè)自由度的主動震動消除，在1Hz時(shí)隔振8-10dB
?從2-3Hz時(shí)，隔振可達(dá)90% (20dB)

的環(huán)境調(diào)查 :
1、安裝前后的環(huán)境調(diào)查，包括震動、磁場、聲波
2、安裝后可提供環(huán)境系統(tǒng)體系認(rèn)證

?*的環(huán)境調(diào)查服務(wù)

?開具環(huán)境報(bào)告

?提供震動、磁場、聲波檢測及解決方案

?性覆蓋。有求必應(yīng)，博學(xué)多才

?TMC基于其經(jīng)驗(yàn)向用戶實(shí)用性方案

?40多年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)

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