電動(dòng) XYZθxθy 傾斜對(duì)準(zhǔn)位移臺(tái)，真空，M6

型號(hào)： 8081M-UHV

技術(shù)參數(shù)

• 位移軸

  X, Y, Z, θx, θy

• 機(jī)制

  Kinematic

• 驅(qū)動(dòng)方式

  Picomotor

• 行程范圍

  3 mm

• 角度范圍

  θx=8°, θy=10°

• 負(fù)載

  13 N

• 小位移增量

  <30 nm

• 
  

• 角分辨率

  θx, θy≤0.7 µrad

• 真空兼容性

  10-9 Torr

• 線纜類型

  Kapton® Ribbon Ultrahigh Vacuum Rated

• 端口類型

  DB15 Female

• 工作溫度

  10 to 40°C

• 螺紋類型

  M4 and M6

在緊湊型設(shè)備中進(jìn)行多軸光學(xué)定位

運(yùn)動(dòng)設(shè)備對(duì)準(zhǔn)臺(tái)將多個(gè)堆疊位移臺(tái)的功能集成到具有多個(gè)促動(dòng)器的單個(gè)位移臺(tái)。這些位移臺(tái)被設(shè)計(jì)為將諸如聲光調(diào)制器的設(shè)備或光學(xué)器件對(duì)準(zhǔn)到光束路徑，從而避免因?yàn)檫M(jìn)行多軸定位而組合部件產(chǎn)生的附加擺動(dòng)。這些位移臺(tái)具有將一個(gè)光軸對(duì)準(zhǔn)另一個(gè)光軸所需的所有的四個(gè)自由度。五軸位移臺(tái)額外提供焦點(diǎn)控制功能。每個(gè)自由度都有一個(gè)位移促動(dòng)器，從而兩個(gè)促動(dòng)器在被移動(dòng)相等距離時(shí)提供平移，而一個(gè)促動(dòng)器的運(yùn)動(dòng)提供關(guān)于角平分線軸的傾斜。然后，沿相反方向旋轉(zhuǎn)兩個(gè)促動(dòng)器螺釘使安裝板圍繞其中心旋轉(zhuǎn)。每個(gè)位移臺(tái)都有 8° 的傾斜運(yùn)動(dòng)（每 5° 旋轉(zhuǎn)有 87 µrad 或 111 µrad 分辨率），以及 4.4 µm/5° 旋轉(zhuǎn)分辨率下 3 mm 的線性平移。

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