曝光源

我們的 500 W 和 1000 W 曝光源涵蓋近紫外光 (350 - 450 nm)、中紫外光 (260 - 320 nm) 和深紫外光 (220 - 260 nm)。NUV 經(jīng)過設(shè)計(jì)，可曝光大部分光刻膠；MUV 用于聚合物交聯(lián)以及光刻膠；DUV 用于深紫外光研究。我們的照明器可輻照 2.13 x 2.13 到 10 x 10 英寸的樣品。

• 高強(qiáng)度輸出

• 強(qiáng)度分布均勻的大面積準(zhǔn)直光束

• 高效帶外抑制

• 定時(shí)曝光

高亮照明光源燈箱

涂覆用于 NUV 的 AlSiO 或用于 MUV 和 DUV 系統(tǒng)的增強(qiáng)銠的高效橢圓形反射器，可收集高達(dá) 70％ 的弧光燈輸出。在光通過專有設(shè)計(jì)的光束勻化器之后，45°初級二向色鏡對光進(jìn)行反射。勻化器或光學(xué)積分器類似于復(fù)合蠅眼。它干擾弧光燈的非均勻輻照以產(chǎn)生多個(gè)發(fā)散光束。這些發(fā)散光束在準(zhǔn)直透鏡處重疊，從而在工作平面上產(chǎn)生高度均勻的準(zhǔn)直光束。堅(jiān)固的電子分離式葉片快門系統(tǒng)位于勻化器后面。它由和可重復(fù)的快門及快門電源組成。可以通過燈罩側(cè)板上的開關(guān)或通過 68955 手持式開關(guān)手動(dòng)打開和關(guān)閉該系統(tǒng)。對于自動(dòng)曝光控制器，我們提供 68951 型數(shù)字曝光控制器或 68945 型數(shù)字計(jì)時(shí)器。根據(jù)要求，還可以在燈罩上接線，從而通過計(jì)算機(jī)邏輯電平操作快門。

弧光燈選項(xiàng)

NUV 光源采用汞短弧光燈，這些光源包含含量的汞和氙或氬，用于充當(dāng)初始?xì)怏w。通過紫外光波長和可見光波長的強(qiáng)汞線會(huì)影響其輸出光譜。365 nm 線使其非常適合用于 NUV。MUV 和 DUV 光源控制汞（氙）短弧燈，后者類似于汞燈，但除初始?xì)怏w外還包含氙氣。額外的氙氣增強(qiáng)了短波紫外線，使其成為 350 nm 以下應(yīng)用的理想選擇。我們提供具有 NUV 和 MUV 光源的無臭氧汞氙燈以及用于 DUV 型的紫外增強(qiáng)燈。上圖顯示了 6285 500 W 汞燈的典型輸出。

三個(gè)光譜范圍

照明光源的光譜輸出由燈類型、二向色鏡和準(zhǔn)直透鏡確定。NUV 光源采用汞燈，使用BK7玻璃透鏡（不透射低于 350 nm 的光）并且具有相應(yīng)的二向色鏡。MUV 和 DUV 光源采用汞氙燈，使用紫外級熔融石英透鏡（透射低至 200 nm 的光）并具有相應(yīng)的二向色鏡。如果您需要在所有地區(qū)工作的靈活性，請選擇 DUV 光源并為相應(yīng)區(qū)域額外購買二向色鏡。

三個(gè)安全聯(lián)鎖系統(tǒng)

每個(gè)燈箱包含三個(gè)聯(lián)鎖系統(tǒng)。打開燈箱門將觸發(fā)電子聯(lián)鎖開關(guān)，從而自動(dòng)中斷系統(tǒng)電源。這可以防止操作員意外接觸燈。如果溫度超過安全操作水平，則熱防護(hù)聯(lián)鎖會(huì)關(guān)閉系統(tǒng)。如果燈的冷卻風(fēng)扇發(fā)生故障，則第三個(gè)聯(lián)鎖將關(guān)閉系統(tǒng)。

軟啟動(dòng)點(diǎn)火器

我們的 500W 汞 NUV 燈罩包含內(nèi)置的“軟啟動(dòng)"點(diǎn)火器。這種點(diǎn)火器專為汞燈設(shè)計(jì)，可提供高壓斜坡，從而實(shí)現(xiàn)可靠的低壓力點(diǎn)火。結(jié)果是可忽略的電磁干擾。500 和 1000 W 汞（氙）燈罩包含一個(gè)高壓點(diǎn)火器，這是點(diǎn)燃這種燈類型所必需的。這些點(diǎn)火器在燈電極上施加高電壓 (25 kV) 脈沖放電。靠近燈會(huì)減小脈沖必須行進(jìn)的路徑長度，從而有利于點(diǎn)火和減少電磁干擾。

安全注意事項(xiàng)

這些光源（尤其是 DUV 和 MUV 系統(tǒng)）會(huì)發(fā)射危險(xiǎn)的紫外線輻射。在這些光源附近工作時(shí)，應(yīng)始終佩戴紫外線防護(hù)設(shè)備（如、手套和面罩）。

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