三坐標的平臺是花崗巖結構，這樣三坐標的主軸也是花崗巖材質。主軸采用花崗巖而橫梁和Z軸采用鋁合金等其他材質，在溫度變化時會因為三軸的熱膨脹系數不均同而引起測量精度的失真和穩定。

　　固定橋架型三坐標測量儀介紹：

　　固定橋架型，軸為主軸在垂直方向移動，廂形架導引主軸沿著垂直軸的水平橫梁上做方向移動。橋架(支柱)被固定在機器本體上，測量臺沿著水平平面的導軌作軸方向的移動，且垂直于和軸。每軸皆由馬達來驅動，可確保位置精度，此機型不適合手動操作。

　　單支柱測量臺移動型三坐標測量儀介紹：

　　單支柱測量臺移動型，軸為主軸在垂直方向移動，支柱上附有軸導槽，支柱被固定在測量儀本體上。測量時，測量臺在水平面上沿著軸和軸方向作移動。

　　三坐標測量儀機型介紹：

　　結構型式：三軸花崗巖、四面全環抱的德式活動橋式結構

　　傳動方式：直流伺服系統 預載荷高精度空氣軸承

　　長度測量系統：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為μm

　　測頭系統：雷尼紹控制器、雷尼紹測頭、雷尼紹測針

　　機 臺：高精度（00級）花崗巖平臺

　　使用環境：溫度(20±2)℃，濕度40%-70% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h

　　空氣壓力： MPa - Mpa

　　空氣流量：25 L/min

　　長度精度MPEe： ≤ L/350 (μm)

　　探測球精度MPEp： ≤μm

　　軸移動懸臂型三坐標測量儀介紹：

　　軸移動懸臂型，軸為主軸在垂直方向移動，廂形架導引主軸沿著垂直軸的水平懸臂梁在軸方向移動，懸臂梁沿著在水平面的導槽在軸方向移動，且垂直于軸和軸。此型為三邊開放，容易裝拆工件，且工件可以伸面即可容納較大工件，但因懸臂會造成精度不高。

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