德國Bruker Contour X 白光干涉光學輪廓儀
?樣品尺寸:
?150 mm x 150 mm x 92 mm
?承載 4.5 kg
?垂直分辨率:
?橫向分辨:
?0.3µm (±150nm)
?AcuityXR 0.15µm (±75nm)
?基于白光干涉原理，結果可溯源
白光干涉技術內在優勢：
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德國BrukerContourX白光干涉光學輪廓儀?樣品尺寸:?150mmx150mmx92mm?承載4.5kg?垂直分辨率:?橫向分辨:?0.3µm(±150nm)?AcuityXR0.15µm(±75nm)?基于白光干涉原理
德國Bruker Contour X 白光干涉光學輪廓儀
?樣品尺寸:
?150 mm x 150 mm x 92 mm
?承載 4.5 kg
?垂直分辨率:
?橫向分辨:
?0.3µm (±150nm)
?AcuityXR 0.15µm (±75nm)
?基于白光干涉原理，結果可溯源
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