美國 Harrich PDC-MG 高集成度等離子清洗機

技術參數：

1.整機規格：500×300×300（長×寬×高）mm

2.整機重量：35 Kg
3.清洗艙規格：Φ165×L210 mm (耐熱玻璃)
4.清洗艙有效容積：4.5 L

5.輸入電源：220 V／50 Hz
6.整機輸入功率：400 W
7.射頻輸出：0～150 W（連續可調）
8.射頻頻率：13.56 MHz

9.數字式定時器范圍：0～99.99 min

10.極限真空度：60 Pa

11.二路浮子流量計：0.2~1.5L/min量程，方便二種氣體按比例混合

12.觀察窗：觀察清洗倉內輝光狀態

13.常用工作氣體：空氣、氬氣、氮氣或混合氣體

14.VRD-8型單相真空泵