電子束光刻膠
E-Beam 電子束光刻膠 ：HSQXR-1541-006, Z520, PMMA, 。EBL6000系列，Ma-N2400系列。納米壓印膠：mr-NIL 6000E, mr-L 900M, mr-UVCur21。光固化膠：Ormo 系列。
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