SEM-Base LP 主動(dòng)壓電陶瓷隔振平臺(tái) 主動(dòng)帶寬0.6Hz-100Hz

SEM-Base LP是TMC基于標(biāo)準(zhǔn)的SEM-Base設(shè)計(jì)研發(fā)的主動(dòng)壓電陶瓷隔振平臺(tái)，它是的自定義、低姿態(tài)的版本。它使得電鏡距地面的高度更近，同時(shí)它擁有與標(biāo)準(zhǔn)的SEM-Base@ Vi平臺(tái)相同的地面隔振性能。型號(hào)25-44003-01包括腳輪，并且用于Thermo Fisher Scientific(原FEI)電鏡產(chǎn)品的隔振。

兼容的Thermo Fisher Scientific 工具型號(hào)

• Apreo

• Aquilos

• Helios 5

• Nova NanoSEM x50

• Prisma

• Quattro S

• Scios

• Teneo

• Verios 5

• Versa 3D

模擬VC-C(500uin./s, 12.5 um/s RMS)振動(dòng)測(cè)試，you 效 負(fù)載為1800lb(818kg)

25-44003-01示例：集成工具底部框架

技術(shù)規(guī)格

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