XM 系列 chao 高 性能線性平移臺可提供持續、可靠的動力性能，運動精度可以達到 1 nm。如此*的定位能力使其成為各種要求苛刻、突破性應用的理想選擇。

• 性能 chao 高，zui 小 增量運動為 1 nm

• 非接觸直接驅動系統，精度 chao 高、動態性能且操作可靠

• 亞納米級玻璃標度編碼器，重復精度為 80 nm

• chao 大 型無鐵心線性電機可 zui 大 限度地減少發熱

• chao 抗蠕變交叉滾子軸承可確保無波紋運動

• 可選花崗巖底座可確保超平穩安裝條件以實現性能

產品規格

注釋:

1. Maximum speed is driver dependent. Contact Newport for additional information.

2. MIM depends on driver type and environment, refer to data sheet for more information.

3. Continuous motor force is driver dependent. Contact Newport for additional information.

4. Middle 80% of travel. To obtain arcsec units, divide the µrad value by 4.8.

5. Middle 80% of travel.

特征

適用于激光加工應用

XM平移臺是激光微加工、標記、切割和納米圖案形成等應用的理想平移臺。此視頻顯示兩個XM平移臺堆疊在由NewportXPS控制器驅動的2軸(XY)系統中，用于與振鏡掃描器同步的復雜、平滑、chao 高 精度運動。

3軸超

XM系列直接驅動平移臺為苛刻的應用提供 chao 高 精度運動。此視頻顯示由兩個XM平移臺和一個xms-v垂直平移臺組成的組件，該組件提供3個軸(XYZ)的運動，可用于聚焦、傳感器測試/校準、直接激光光刻和組裝等應用。

可以通過命令控制 1 nm 位移步長

超設計和 Heidenhain 光柵尺使 XM 線性平移臺系列能夠在受控環境中通過一致的命令控制 1 nm MIM。

XM-S平移臺能夠在受控環境中使用XPS-D控制器進行1-nm增量運動。

的中心驅動、無鐵、直接驅動線性電機

與螺釘驅動平移臺不同，XM采用中心驅動、無鐵芯線性電機作為驅動元件。由于線性電機是無摩擦的直接驅動設備，因此沒有限制運動性能的側隙或滯后、卷繞或靜摩擦。線性電機驅動器還具有更高的速度、加速度和系統響應性的優點，同時沒有電機電刷或驅動螺釘的磨損。chao 大、無鐵芯電機線圈能確保零齒槽，實現超平滑速度控制，與其他平移臺設計相比，具有更高的效率。這將導致產生的熱量減少，發熱通常是超運動應用的主要限制因素。為了進一步 gai 善 熱管理及其對平移臺性能的影響，XM 平移臺還具有一個優點，其磁軌和平移臺托架之間采用了成熟的全程去耦機制。

XM平移臺在連續掃描或激光加工應用中提供速度穩定性。

顯示的是使用干涉儀以1 kHz的速率收集的XMS50的速度。

配套的抗蠕變交叉滾子軸承可實現 chao 高 控制

為了確保 jing 確 的軌跡控制，XM平移臺具有配套的同類 zui 佳 防蠕動式交叉滾子軸承對。這些軸承中沒有再循環元件，因此可以為苛刻的掃描和檢測系統提供充足的無波紋運動。而且，齒輪保持架會防止軸承罩移位，其他直線軸承產品可能出現此類移位。

線性誤差校正后XMS50-S平移臺的精度，當級以100毫米/秒的速度運動時，

以10 khz的速率動態測量。

面向 zui 佳 XY 組件的 T 形托架設計

在 XM 上使用的 T 形托架為 XY 組件提供了 zui 佳 解決方案，同時不會影響平移臺預載荷。與具有 C 形托架設計的平移臺相比，它更加堅固，并能適應非理想的安裝條件。

具有超表面平整度的花崗巖底座

表面平整度是影響運動系統定位精度和可重復定位精度的主要因素。經過研磨的花崗巖板是市面上可以買到的 zui 平坦表面之一。花崗巖具有緊密的平面度公差和 ji 高 的硬度，使其成為補充 Newport 超線性電機 XM 系列平移臺的必然選擇。GB 系列花崗巖底座采用 3 點安裝，可安裝在非平面平臺上。邊緣手柄可用于處理底座以及將底座定位在工作表面上。

誤差顯示服務

對于苛刻的定位應用，Newport提供微定位校準服務。當我們的XPS gao 級 運動控制系統發出指令時，我們將創建、實施和驗證電子補償過程，從而提高 Newport XM 平移臺的 jue 對 位置精度。此外，還可以使用多軸微定位校準服務。 測試在20.0±0.2℃下進行。 您的平移臺將提供校準證書，也可根據要求提供實際數據。

用于超可重復移動的高線性玻璃標尺

高線性標尺提供了 jing 確 的位置反饋。該低熱膨脹標尺 jing 確 對準并安裝在平移臺中心，將溫度變化對平移臺的可重復定位性和定位精度的影響降至 zui 低。編碼器信號由具有亞納米分辨率和小于 1 nm 噪聲的 Newport XPS 運動控制器進行插值，從而實現定位靈敏度和穩定性。jue 對 原點位置和 ji 限 信號集成到編碼器標尺上，無需任何其他電子或機械結構，便可提高可靠性和精度。

通過制造實現 chao 高 性能

XM平移臺是由應力 xiao 除 的高強度鋁加工而成，能確保長期的強度和穩定性。所有關鍵的平移臺表面都進行多次加工，然后在嚴格的溫度和質量控制下進行磨削，以進一步提高整體性能和精度。

節省空間的高可靠性設計

所有 XM 平移臺電子設備都固定到穩定的底座，因此平移臺內部沒有移動電纜。這種設計非常緊湊，并具有可靠性和 an 全性。節省空間的固定讀頭設計避免了在平移臺內部添加移動電纜，并了 XM 平移臺的穩健性和可靠性，例如將 MTBF 提高到 20,000 小時。

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