這款晶圓自動四探針電阻率計是四點探針型的半導(dǎo)體晶圓和電阻薄膜的電阻率特性測量儀器，它采用微處理器電路直接計算出V/I數(shù)值，表面電阻率,薄片電阻率,晶片電阻率,金屬化厚度,PN結(jié)類型測試。

　　晶圓自動四探針電阻率計采用緊湊型設(shè)計，把電子電路和探針機械集成在較小外部結(jié)構(gòu)中，采用堅固的鑄鋁外殼確保探針的安全性。

　　自動四探針電阻率計的探針頭固定在堅固外殼中，與諸多四探針和探針臺把探針頭進入晶圓測量，我們的產(chǎn)品是把晶圓移動到探針頭測量，這樣就確保了恒定連續(xù)的探針力不受操作人員和經(jīng)驗厚度的影響而改變。

　　自動四探針電阻率計能夠?qū)μ结樦貜?fù)定位，探針頭采用可更換設(shè)計，電磁特性對電阻材料的干涉影響降低到水平。

　　全自動電阻率計采用微處理器電路，直接計算戶V/I 值，薄片電阻率或晶片電阻率，金屬化厚度和P-N結(jié)類型等指標(biāo)。

　　電路和探針采用集成設(shè)計，并采用高級鋁作為外主材，堅固耐用。

　　全自動電阻率計采用恒力探針頭堅固地固定在外殼上，而探針頭可以自由取下測量，這就確保了恒力操作，不受操作員的每次測量用力不同的問題和晶圓厚度不等的問題引入的誤差。

　　全自動電阻率計配比了晶圓定位架，用于探針重復(fù)定位。

　　全自動電阻率計特點

　　操作方便簡易

　　自動校準(zhǔn)計算顯示薄片電阻率或鏡片電阻率， V/I值，金屬化厚度和PN結(jié)類型

　　非常適合外延,擴散，離子注入和金屬化層測量

　　內(nèi)置每次測量自校準(zhǔn)功能，儀器測量精度為0.5%

　　可編程控制

　　自動四探針電阻率計測量功能和范圍

　　數(shù)字計算直接顯示薄片電阻率，從1.1毫歐盟/平方 到 450千歐姆/平方

　　鏡片電阻：4.9x10^-2毫歐姆到17.1千歐姆-cm

　　V/I 值從0.25毫歐姆到99千歐姆

　　金屬化層厚度從20A 到243KA

　　微處理器電路

　　自動測量

　　4選擇顯示

　　自動測量