3D多光子聚合光刻機(jī)是采用飛秒激光多光子聚合MPP技術(shù)設(shè)計的3D多光子聚合打印機(jī),為用戶提供高分辨率3D光刻膠打印方案。
3D多光子聚合光刻機(jī)優(yōu)勢
直寫分辨率：200nm ~10um
尺寸結(jié)構(gòu)小，適合實(shí)驗(yàn)室桌面光刻打印
對光刻膠不挑剔，適合所有商用光刻膠
透明3D結(jié)構(gòu)打印
操作界面友好，易于使用
工作和維護(hù)成本低
3D多光子聚合光刻機(jī)參數(shù)
激光光源參數(shù)
激光波長：785nm+/-5nm
平均功率 gt;120mW
激光脈寬 lt;100fs
光束質(zhì)量：TEM00，M2<1.2
納米位移定位臺參數(shù)
XYZ行程：60x60x5mm
XYZ精度：+/-300nm
XY分辨率：5nm
XY速度：100mm/s
聚焦光學(xué)部分參數(shù)
放大倍數(shù)：50X~100X
數(shù)值孔徑：0.5~1.4
物鏡：高性能浸油物鏡
軟件部分參數(shù)
自動或手動對納米位移定位臺控制
控制激光發(fā)射
控制激光功率
控制激光脈沖重復(fù)頻率
激光功率衰減控制
數(shù)字或模擬I/O控制
文件格式：DXF，STL,TXT,XML
2D/3D光刻預(yù)覽窗口方便用戶閱覽
樣品定位檢測
樣品傾斜或旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償技術(shù)
3D多光子聚合光刻機(jī)光刻結(jié)果展示
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