這款科研級大型手動探針臺一款專為半導體領域設計的大型晶圓探針臺，它可用于高達14''半導體晶圓的測量，并在范圍內實現XYZ，theta多維控制。這款大型手動探針臺提供一種連續使用的工具，它可以提供XYZ,Theta的控制，并采用Z軸反向驅動技術控制Z軸運動。它的多功能性，的性價比和簡化操作的設計是得它成為的手動探大型手動探針臺針臺。

　　大型手動探針臺特點

　　最近的若干年中，一些價格適中，操作方便的探針臺從笨重而昂貴的探針臺系列中脫穎而出，成為探針臺發展的主流方向。這些新型探針臺非常方便用戶的使用，極大提高了用戶效能和測量速度，同時也為研發工程師提供了多功能方案。 我們設計的這款探針臺的價格僅為傳統探針價格的2/3, 為客戶提供了操作簡單的手動探針臺方案。

　　Straight-forward use: 這款大型手動探針臺采用直線向前運動設計，操作非常簡單容易，更加方便晶圓裝卸，真空樣品臺控制，樣品旋轉，捆綁探針用于可重復的圖案化。用戶不需要學習軟件，因為它采用了常見的顯微鏡取代視頻相機，用戶直接在視場找到探針就可測量。

　　Small Footprint probe station: 這款大型手動探針臺可用于所有實驗室環境和工藝環境。 它的尺寸是39''長, 26''寬，19.5''高，非常適合空間狹小的測試環境，操作人員可距離探針臺更近操作。

　　Crucial features to make your job easier: 大型手動探針臺的樣品臺吸盤可旋轉380度而沒有反沖問題，因此樣品臺真空吸盤可以反過來使用也不需要調整真空。這個14英寸的樣品真空吸盤可一次性同時安裝4個6英寸的晶圓，非常方便各個晶圓的比較測量。所有的探針都可定位到14英寸真空吸盤表面的任何位置，這就不需要用戶因為探針位不足導致的探針樣品再定位問題發生。所有的同心環真空都是彼此獨立，這樣就實現了所有17個對角真空控制多個裝置同時測量。

　　大型手動探針臺的特別設計，壓力不會突發性地壓著探針沖向樣品。手動探針臺采用了龍門式設計結構，可以負載重量更大的樣品。

　　大型手動探針臺配置典型的配置包括：D14 探針臺，真空泵 (vacuum up to 29 in. Hg (31 mbar)，顯微鏡 (Olympus奧林巴斯顯微鏡: 6.7X - 45X放大倍數)其他顯微鏡 (Olympus: 16X – 112X, Olympus: 19X – 135X).

　　14英寸/(355.6mm) 卡盤

　　獨立真空控制3", 6", 8". 10", 12" and (14") 晶圓直徑

　　17個獨立操作真空位置用于校準標定襯底或其它器件

　　真空致動與卡盤真空位置的一對一關聯

　　探測探頭獨立

　　兩個獨立的Z軸升降裝置

　　無后沖theta 控制并帶有柄

　　獨立的XYZ三軸精調用于程度準直

　　獨立的粗調 X, Y, Z, Θ

　　背部可驅動X控制功能

　　桌面設計金6.25英寸高度

　　占用空間小,長度x寬僅39x26英