金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)
Bronkhorst ®型號(hào) F-111CM 質(zhì)量流量計(jì) (MFM) 專為滿足半導(dǎo)體市場(chǎng)以及其他高純度氣體應(yīng)用的要求而設(shè)計(jì)。這些儀器具有高表面質(zhì)量和模塊化結(jié)構(gòu)，帶有金屬對(duì)金屬密封件，可確保長(zhǎng)期密封性。F-111CM 適用于在真空和 1500 psig (100 bar) 之間的工作壓力下測(cè)量 0.12…6 sccm 到 1…50 slm（基于 N 2 ）的流量范圍。
EL-FLOW ®Metal Sealed 系列配備數(shù)字印刷電路板，提供高精度、出色的溫度穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。主數(shù)字印刷電路板包含測(cè)量和控制所需的所有一般功能。除了標(biāo)準(zhǔn)的 RS232 輸出外，儀器還提供模擬 I/O。作為一個(gè)選項(xiàng)，可以安裝板載接口以提供 CANopen®、DeviceNet EtherCAT®、PROFIBUS DP、PROFINET、Modbus RTU、ASCII 或 TCP/IP、EtherNet/IP、POWERLINK 或 FLOW-BUS 協(xié)議。EL-FLOW ®金屬密封設(shè)計(jì)具有可選的多氣體/多量程功能，為 (OEM-) 客戶提供的靈活性和工藝效率。
| 測(cè)量/控制系統(tǒng) | |
|---|---|
| 流量范圍（可提供中間范圍） | 分鐘。0,12…6 ml n /min max. 1…50 l n /min （基于 N 2） |
| 準(zhǔn)確度（包括線性度）（基于實(shí)際校準(zhǔn)） | ±0,5% Rd 加 ±0,1% FS |
| 重復(fù)性 | < 0,2 % RD |
| 調(diào)節(jié)比 | 1:150（模擬模式下為 1:50） |
| 限度。運(yùn)營(yíng)壓力 | 1500磅/平方英寸（100 巴壓力） |
| 多流體能力 | 存儲(chǔ) 8條校準(zhǔn)曲線； 可選多氣體/多范圍功能， 10 bar abs |
| 工作溫度 | -10…+70 °C |
| 溫度敏感性 | 零 lt; 0.05% FS/°C；跨度 lt; 0.05% Rd/°C |
| 壓力靈敏度 | < 0,1% Rd/bar 典型 N 2 ; < 0,01% Rd/bar H 2 |
| 泄漏完整性，舷外 | < 2 x 10 -11 Pa.m 3 /s 他 |
| 態(tài)度敏感度 | 可以安裝在任何位置 |
| 熱身時(shí)間 | 30分鐘。精度 2 min 精度 ± 2% FS |
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