KASUGA春日靜電電位監(jiān)視裝置KSD-0120
?能用1臺控制器連接2ch的幅度電位傳感器(KS-2100)、能廉價地制造靜電監(jiān)視系統(tǒng)。
?因為是小型傳感器部、能設置在各種制造裝置內(nèi)比較窄的地方、連續(xù)監(jiān)視可能。
?因為有警報設定、如果在超越了設定的電位時、能與各種制造裝置傳動。
?裝備檢出傳感器的故障表示LED、能輸出到外部。
用途
?監(jiān)視平面顯示器生產(chǎn)工序中的帶電量。
?監(jiān)視半導體硬芯片(wafer)的帶電量。
?監(jiān)視LSI 處理中及印刷電路板搬送中的帶電量。
表示部
型式 | KSD-0120 |
表示范圍 | 有效距離① ±1~±1999V |
有效距離②±0.01~±19.9KV | |
模擬輸出 | 0~±5V |
測量精度 | ±10%以內(nèi) |
警報設定 | 2頻道獨立設定及正負獨立設定 |
警報輸出 | 集電極回路(警報設定輸出及傳感器故障輸出) |
電源 | DC12~24V或AC適配器 |
消耗功率 | 20VA |
環(huán)境 | 溫度0~40℃、濕度65%RH以下(沒有結露) |
質(zhì)量 | 約360g |
傳感器部
型式 | KS-2100 |
檢出方式 | 振蕩型表面電位傳感器 |
測量范圍 | 有效距離① ±1~±2000V |
有效距離② ±0.01~±20.00KV | |
模擬輸出 | 0~±5V |
測量精度 | ±10%以內(nèi) |
測量基準距離 | 有效距離① 10mm |
有效距離② 50mm | |
警報 | 檢出傳感器故障時LED表示,外部輸出 |
電源 | 從KSD-0120供給 |
環(huán)境 | 溫度0~40℃、濕度65%RH以下(沒有結露) |
質(zhì)量 | 約100g(不含電纜) |
付屬品 | 專用電纜5m(可以到100m) |


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