詳細參數如下：

平行度：3um（.00012″用于50mm以下型/（3＋L/100）um[（.00012＋.00004（L/4））″]用于50mm以上型
薄片尺寸（單位mm）:A型:0.756 B型:0.46 C型:硬質合金頭0.756 D型:硬質合金頭0.46

性能參數
公制型 數顯型
測量范圍         貨號        分辯率        精度          備注
0-25mm     422-230    0.001mm    ±3um     A型
0-25mm     422-260   0.001mm      ±3um     B型
0-25mm     422-270   0.001mm      ±3um    C型
0-25mm     422-271  0.001mm       ±3um     D型
25-50mm   422-231  0.001mm       ±3um    A型
25-50mm   422-261  0.001mm       ±3um    B型
50-75mm   422-232  0.001mm       ±3um     A型
75-100mm 422-233  0.001mm       ±4um    A型