用途
此為高真空傳輸閘閥使用于半導體,平板顯示器, 光伏, LED二極管等產業.
配裝于真空腔體側, 兩個真空腔(傳輸腔/制程腔)或大氣與真空腔(制程腔)中間,
作為生產線基板或載板傳輸的閘口.
特性
L-MOTION 軌跡動作,在真空的空間中,無金屬與滑動部件接觸,不會產生金屬微粒
簡化部品的結構, 使得產品更精簡與節省空間
垂直的閘板封密表面, 降低外部異物污染的風險
標準堅實的規格與免維修的產品, 可保證 100萬次的壽命
標準閘板封密材料為O型圈, 可節省維修的成本
規格
高真空傳輸閘閥, 選用驅動器的型式時, 依閥門開口與規格(溫度/真空壓)而定
V TEX 將依客戶使用的需求條件提出驅動部的型式
< 閥門驅動部型式 >
RollCam Type: 單凸輪軸式
Twin-RollCam Type: 雙凸輪軸式
Multi-rollcam Type: 復合凸輪軸式
Boxer Type: 往復式
Roll-to-Roll Process type: 卷帶式
<< 對應型式與空間壓力的匹配>>
| 仟漁 |
同類優質產品
會員登錄X請輸入賬號 請輸入密碼 請輸驗證碼 提示X您的留言已提交成功！我們將在第一時間回復您~
歐亞貿易網 設計制作，未經允許翻錄必究 .Copyright(C) http://www.bjyhs998.com,All rights reserved. 以上信息由企業自行提供，信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業負責，歐亞貿易網對此不承擔任何保證責任。溫馨提示：為規避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。 |
所有評論僅代表網友意見，與本站立場無關。