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SINAMICS G120 是由多種不同功能單元組成的模塊化變頻器。
構成變頻器兩個必須的主要模塊為： 控制單元（CU） 功率模塊（PM） 控制單元 可以通過不同的方式對功率模塊和所接的電機進行控制
和監控。它支持與本地或控制的通信并且支持通過監控設備和 輸入/輸出端子的直接控制。
功率模塊 可以驅動電機的功率范圍為 0.37 kW 到 250 kW（0.5hp 到 400 hp）。功率模塊由于控制單元里的微處理器進行控制。高性 能的 IGBT 及電機電壓脈寬調制技術和可選擇的脈寬調制頻率的采
用，使得電機運行極為靈活可靠。多方面的保護功能可以為功率模
塊和電機提供更高一級的保護。

通過的冷卻理念和加涂層的電子模塊可以使變頻器的使用壽命 和高效運行時間加長。這一特點主要基于以下幾個方面: 所有熱損耗的散熱通過外置的散熱片 通風風道中沒有電子器件 控制單元采用標準的自然對流散熱 所有冷卻空氣流經散熱片
變頻器調試軟件 STARTER 可以對 SINAMICS G120 變頻器進行調試和
維護。對于簡單的調試，它可以提供操作向導以加快調試過程，同
時也提供界面友好的，與傳動相關的復雜解決方案

在2025年之前，30%，完成淹沒式光刻機國產化。到18英寸工藝裝備、20年之多。

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