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有源RF和FEM的第二個關鍵屬性是諧波行為。諧波行為由非線件引起，會導致在比發射頻率高數倍的頻率下產生輸出功率。由于許多無線標準對帶外輻射進行了嚴格的規定，所以工程師會通過測量諧波來評估RF或FEM是否違反了這些輻射要求。測量諧波功率的具體方法通常取決于RF的預期用途。對于通用RF等器件備來說，諧波測量需要使用連續波信號來激勵DUT，并測量所生成的不同頻率的諧波的功率。相反，在測試無線手機或RF時，諧波測量一般需要調制激勵信號。
由于在導通期間，Vds與Ids的值都很小，和8位示波器的量化誤差相當。可以將Vds波形導通時的波形放大觀察，同樣也會出現前文提到的臺階狀現象。而HRO的高分辨率特性使這種誤差大大減小。通過對比測試，8位示波器測量的導通損耗是1.5W，HRO測量的導通損耗是688mW。使用低分辨率示波器的工程師，也許會花費很多精力物力去降低導通損耗，殊不知測量結果主要是量化誤差。而HRO的高分辨率特性使這種誤差大大減小。
它來源于振蕩器輸出信號由噪聲引起的相位、頻率的變化。頻率穩定度分為兩個方面：長期穩定度和短期穩定度，其中，短期穩定度在時域內用艾倫方差來表示，在頻域內用相位噪聲來表示。相位噪聲的定義IEEEstandard1139-1988：以載波的幅度為參考，在偏移一定的頻率下的單邊帶相對噪聲功率。這個數值是指在1Hz的帶寬下的相對噪聲電平，其單位為dBc/Hz。該定義是基于頻譜儀法測試相位噪聲，不區分調幅噪聲和調相噪聲。
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