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無塵烤箱，精密潔凈烘箱用途:

無塵烤箱，精密潔凈烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無塵烤箱，精密潔凈烘箱特點：
1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
3.采平面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

4.強制送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到高溫度控制精度。

無塵烤箱，精密潔凈烘箱技術參數：

無塵等級：Class 100;

溫度范圍：60～ +300℃；
溫度均勻度：200℃±2℃;

溫度波動度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;

工作尺寸：600×600×500（可定做）
電源：380v , 50Hz，10KW

網板：2塊（高度可調節)

潔凈度100級的潔凈熱處理，HEPA過濾器與前出風型水平層流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻
性與100級潔凈度。最小限度控制風速距離。