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智能型HMDS烘箱，HMDS預處理系統用途:

   HMDS 預處理系統通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS 處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

智能型HMDS烘箱，HMDS預處理系統性能參數:

1、設備名稱：智能型HMDS烘箱

2、設備型號：JS-HMDS90-AI

3、設備主要技術參數

3.1 工作室尺寸：450×450×450，550×650×550（mm），可自定義 

3.2 材質：外箱材質采用優質冷軋板噴塑，內箱采用316L 醫用級不銹鋼

3.3 溫度范圍：RT+10-250℃

3.4 溫度分辨率：0.1℃

3.5 溫度波動度：＜±1℃

3.6 真空度：≤133pa（1torr）

3.7 潔凈度：class 100，設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環境

3.8 電源及總功率：AC 220V±10% / 50HZ 總功率約3.0KW

3.9 控制儀表：人機界面

3.10 擱板層數：2 層

3.11 HMDS 流量控制方式：通過設置充液時間控制HMDS 流量

3.11 真空泵：旋片油泵/進口干泵（全新）

3.12 保護裝置：漏電保護，超溫保護，HMDS 低液位報警等

智能型HMDS烘箱，HMDS預處理系統特點:

1、預處理性能更好

2、處理更加均勻

3、效率高

4、更加節省藥液

5、更加環保和安全

6、低液報警系統

7、自動吸取HMDS功能

8、HMDS氣體管路加熱系統

9、可自動添加HMDS功能

10、參數記錄功能

11、溫度程序鎖定功能

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