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UV光解/光氧設(shè)備采用波長低于280nm，一般采用185nm的UVC紫外光源進(jìn)行廢氣處理。其主要原理是利用中短波紫外線光子所攜帶的能量較強(qiáng)。315nm~280nm的中波紫外，能量強(qiáng)度為3.94eV~4.43eV;280nm~100nm的短波紫外，能量強(qiáng)度為4.43eV~12.4eV，通過紫外線的光子轟擊有機(jī)物的分子鏈，實(shí)現(xiàn)分子鏈的斷裂，斷裂的有機(jī)物成分與氧氣、臭氧等反應(yīng)，生成產(chǎn)物為CO2和H2O等無害物質(zhì)。