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　　日本富士精機株式會社 FUJI Technology lnc.

　　一種長壽命、格、高性能、開閉操作多樣的蝶閥。

　　長壽命 500,000 至 100 萬次循環

　　價格低廉 可以以低廉的價格實現自動壓力控制。

　　采用高性能高性能伺服電機和新型驅動機構

　　可實現高性能全封閉、多級位置控制和自動壓力控制。

　　特征

　　1臺即可進行全閉（全閉）和電導調整，也可進行最小電導控制。

　　可從差壓狀態（真空至大氣壓）開啟。

　　由于采用了高精度齒輪頭，位置精度的再現性非常好。

　　除全閉和全開外，最多可停在14個位置。

　　使用示教盒或計算機軟件可輕松設置定位設置。

　　也可通過增加控制選件作為自動壓力控制閥使用。

　　閥體的位置可以通過角度指示器從外面確認。

　　通過選擇電機位置，可以靈活應對各種布局，有效利用排氣系統的安裝空間。

　　全閉（全閉）位置檢測光電傳感器作為標準設備