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武漢低溫等離子清洗機(jī) 電子元器件綁定前蝕刻機(jī)

小型等離子清洗機(jī)

PT-5S型是雙路氣體輸入，不銹鋼艙體：Φ150mm×270mm

容量：5升

供電電源： AC220V

工作電流： 整機(jī)工作電流不大于1.2A(不含真空泵)

射頻電源功率： 300W

射頻頻率： 40KHz或13.56MHz 選裝（偏移量小于0.2KHz）

頻率偏移量： 小于0.2KHz

特性阻抗： 50歐姆，自動(dòng)匹配

真空度： 10Pa—1000Pa

氣體流量： 60—600ml/min(可調(diào))

過程控制： MCU自動(dòng)與手動(dòng)方式

清洗時(shí)間： 1-100分鐘可調(diào)

功率大小 10%-99%可調(diào)

外形尺寸： PT-5S型_400x450x250

重量： 36.5Kg

真空泵： 2XZ-4

真空室溫度： 小于65°C

冷卻方式： 強(qiáng)制風(fēng)冷