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高純水：既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至低程度的水。電阻率大于10～18.3MΩcm極限值。超純水,是一般純水設(shè)備很難達(dá)到的程度，通常采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、高純化處理以及后級(jí)處理四大步驟，多級(jí)過(guò)濾、高性能離子交換（拋光）、超濾過(guò)濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達(dá)18.25MΩcm。 制備工業(yè)用高純水的工藝流程 電子行業(yè)制備超水的工藝大致分成以下幾種： 1.采用離子交換樹(shù)脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→陽(yáng)床→陰床→混床（復(fù)床）→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn) 2.采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過(guò)濾器→軟水器-精密過(guò)濾器→反滲透設(shè)備→純水箱→混床（復(fù)床）→超純水箱→超純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn) 采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備進(jìn)行搭配的的方式，這是一種制取超純水的新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕浠竟に嚵鞒虨椋涸程窟^(guò)濾器→軟水器-精密過(guò)濾器→反滲透設(shè)備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→拋光混床-紫外線殺菌器-終端精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)

1、工藝標(biāo)準(zhǔn)

（1）《鋼制焊接常壓容器 NB/T 47003.1—2009》

（2）《水處理設(shè)備 技術(shù)條件 JB/T 2932-1999》

（3）《機(jī)械設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收通用規(guī)范》GB50231-2009

2、電氣安裝標(biāo)準(zhǔn)

（1）GB50168-2006 《電氣裝置安裝工程電纜線路施工及驗(yàn)收規(guī)范》

（2）GB50171-92《電氣裝置安裝工程盤/柜及二次回路施工及驗(yàn)收規(guī)范》

（3）GB50169-2006《電氣裝置安裝工程接地裝置施工及驗(yàn)收規(guī)范》

超純水設(shè)備工藝流程：

（1）預(yù)處理+雙級(jí)反滲透+電去離子+拋光混床

（2）預(yù)處理+單級(jí)反滲透+電去離子

（3）預(yù)處理+單級(jí)反滲透+再生混床