產品介紹：
(化學式：PH3)是一種有臭味的無色、，，吸入會對心臟、呼吸系統、腎、腸胃、神經系統和肝臟造成影響。是IC制造的原料，也是半導體器件重要的N型摻雜源，同時，還用于多晶硅化學氣相沉淀、離子注入等工藝中。作為高毒，在與之有關的化工合成和半導體制造中，通常利用傳感器對其進行監測，以起到安全保護作用。
對于有毒氣體的檢測，目前較為常用的是電化學的方式。傳感器專家網的三電極傳感器通過內部的一對電極處的電化學反應產生電流，并測量該電流的大小得到有毒氣體的濃度。此外，還通過第三個電極，即參考電極穩定感應電極的電動勢，提高測量性能。傳感器專家網傳感器采用了擴散柵欄的設計，使得被測氣體在感應電極處能充分反應，并可保存電化學活性，使得傳感器具有較長的使用壽命和良好的溫度穩定性。
測量范圍 0-20PPM/0-2000PPM
測量方式 電化學傳感器
輸出方式 RS485/ 0-5V/0-10V/4 -20mA
波特率 2400/4800/9600
耗電 ≤
壓力范圍
響應時間 ≤15s
運行溫度 -20-50°C (-20-40%持續)
外形尺寸 110 85 44mm3
供電電源 12V-24VDC
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