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蔡司三坐標(biāo)的光柵尺材料：玻璃陶瓷。線膨脹系數(shù)極小。

一起來(lái)看看集中常見(jiàn)材料的膨脹系數(shù)吧？

玻璃陶瓷膨脹系數(shù)：0.0 +/- 0.05 µm/meter/oC

玻璃膨脹系數(shù)：7.8 +/-0.5 µm/meter/oC

鋼的膨脹系數(shù)：11.5 +/-0.5 µm/meter/oC

由上可見(jiàn)，玻璃陶瓷光柵尺膨脹系數(shù)最小，我們可以避免誤差，由此保證蔡司三坐標(biāo)測(cè)量精度。