被測(cè)氣體 Gas Detected 硅烷（SiH4）

檢測(cè)原理 Detection principle 電化學(xué)原理

采樣方式Sampling Method 泵吸式，流量可達(dá)1L/min，泵的吸力大小有十個(gè)檔位可調(diào)

量 程 Measure Range 0-10ppm、0-20ppm、0-50ppm、0-100ppm（量程可選）

分 辨 率 Resolution

精 度 Precision 2%FS

信號(hào)輸出 Signal Output USB接口高速數(shù)據(jù)傳輸，可下載打印數(shù)據(jù)（可選）

響應(yīng)時(shí)間 Response Time ≤10S 恢復(fù)時(shí)間 Recovery Time ≤10S

重 復(fù) 性 Repeatability ≤±1% 線性誤差 Linearity error ≤±1%

零點(diǎn)漂移 Zero shift ≤±1%（/年） 顯示技術(shù) Display 液晶點(diǎn)陣顯示技術(shù)

操作語(yǔ)言O(shè)perating language 支持中英文 氣體單位 Gas unit 支持多個(gè)氣體單位切換顯示

工作溫度 Temperature -40℃～70℃ 工