技術(shù)指標(biāo)
l LED 光源波長(zhǎng):505 nm
l 測(cè)量耗時(shí):5到10 秒
l Z 方向測(cè)量范圍:250μm,分辨率:2nm
l X/Y 方向,平臺(tái)移動(dòng)范50mmX50mm,(馬達(dá)驅(qū)動(dòng)),分辨率:0.3μm
l 物鏡:10X、20X、50X、100X
功能及特性
l 檢測(cè)樣品表面形貌
l 測(cè)量樣品的高度、深度以及起伏角度(納米級(jí)分辨率)


技術(shù)指標(biāo)
l LED 光源波長(zhǎng):505 nm
l 測(cè)量耗時(shí):5到10 秒
l Z 方向測(cè)量范圍:250μm,分辨率:2nm
l X/Y 方向,平臺(tái)移動(dòng)范50mmX50mm,(馬達(dá)驅(qū)動(dòng)),分辨率:0.3μm
l 物鏡:10X、20X、50X、100X
功能及特性
l 檢測(cè)樣品表面形貌
l 測(cè)量樣品的高度、深度以及起伏角度(納米級(jí)分辨率)













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