名稱 QV Active 202 QV Active 404

貨號(hào) 363-109-10Y 363-110-10Y

型號(hào) QV-L202Z1L-D QV-L404Z1L-D

測(cè)量范圍 (X×Y×Z) 250×200×150mm(250×200×118mm: 使用1×物鏡時(shí)) 400×400×200mm(400×400×168mm: 使用1×物鏡時(shí))

分辨力 0.1µm

長(zhǎng)度基準(zhǔn) 線性編碼器

倍率裝置 Zoom放大倍率(8倍)

影像裝置 CMOS彩色照相機(jī)

照明裝置 反射照明 白色LED

透射照明 白色LED

程控環(huán)形照明 4段固定式白色LED

測(cè)量精度*1 E1X, E1Y (2+3L/1000)µm

E1Z (3+5L/1000)µm

E2 (2.5+4L/1000)µm

精度保證光學(xué)條件 Z-objective 1.5×物鏡、5.25倍變焦倍率

精度保證溫度 20±1℃

工作臺(tái)玻璃尺寸 311×269mm 466×480mm

工件質(zhì)量*2 10kg 20kg

主機(jī)外觀尺寸 570×767×1468mm 776×1303×1529mm

主機(jī)重量 (含設(shè)置臺(tái)) 155kg 324kg