真空手套箱是將高純惰性氣體充入箱體內，并循環過濾掉其中的活性物質

的實驗室設備。也稱手套箱、惰性氣體保護箱、干箱等。主要對O2，H2O，

有機氣體的清除。廣泛應用于無水、無氧、無塵的超純環境，如：鋰離子

電池及材料、半導體、超級電容、特種燈、激光焊接、釬焊等。

中文名 真空手套箱 水含量 小于1ppm 氧含量 小于1ppm 泄漏率 ≤

0.05Vol%/h

目錄

1 技術指標

2 配置清單

3 安裝環境

4 如何選擇

5 功能

6 操作前

7 操作時

8 維修保養

技術指標編輯

1、水含量小于1ppm； 氧含量小于1ppm。

2、過渡艙可承受：真空度≥100pa。

3、密閉性：泄漏率≤0.05Vol%/h

配置清單編輯

箱體

機架

工具過渡艙

物料過渡艙

擱物架

可視面板

手套孔

手套

電源插座

照明系統

HEPA過濾器

真空表

壓力表

腳踏控制器

氣體凈化系統

PLC控制系統

有機氣體吸附器

真空泵

水傳感儀

氧傳感儀

壓力傳感儀

加熱系統

冷凍系統

其他選配

安裝環境編輯

電：需要220V/50Hz；

水：需將普通自來水接入凈化系統的冷卻水進口，將水箱加滿為止,不需長

期打開閥門；

氣：需要提供惰性氣體（N2或Ar）或混合氣（N2或Ar占90%，H2占10%），

如沒有此混合氣體也可以用N2或Ar和H2的純凈氣體按比例進行混合代替。

如何選擇編輯

首先我們確定是需要幾個人操作的箱體，即幾個工位。

真空手套箱是1個人操作，多則不限制。

1個人操作的手套箱一般有以下尺寸規格：

5521101型（單面2個手套孔），箱體外形尺寸lwh≈900×700×850mm

5621101型（單面2個手套孔），箱體外形尺寸lwh≈1200×850×1000mm

5631101型（單面3個手套孔），箱體外形尺寸lwh≈1600×850×1000mm

然后要明確告訴生產廠家，箱體內可能接觸到的物料名稱，以此來確定手

套箱箱體需要的材質。

就是根據自己的實驗、生產要求，確定必要的配置清單，以免購置不需要

的部件。比如實驗中對水份含量要求高，對氧氣含量沒有要求，則可以不

用購買氧傳感儀器。

功能編輯

1、密閉循環：真空手套箱和氣體凈化系統構成一個密閉的循環系統，由氣

體凈化系統提供氣體循環動力。

2、人機對話：配置彩色觸摸屏，中文界面，實現人機對話，操作便捷

3、自動控制（由彩色觸摸屏的人機界面和PLC程序控制系統集成對系統進

行控制）

實現功能：手/自動控制箱體壓力；

手/自動控制氣體凈化系統的凈化狀態；

自動控制氣體凈化系統的還原過程；

手/自動凈化系統還原、凈化及轉換凈化柱（配置雙凈化柱時）；

自動箱體氣氛報警；

箱體內氣氛和壓力參數設置和手/自動轉換；

氣體凈化系統自動控制功能的參數設置；

查閱系統歷史紀錄；

氣體凈化系統執行機構工況檢測；

程序控制系統的操作錯誤和警告提示；

4、還原、再生

凈化系統采用可再生/還原的凈化材料，還原程序由系統自動控制；

還原、再生時需滿足供電和提供（5-10%）加惰性氣體的混合氣體。

5、防誤操作：系統通過PLC程序控制系統自動檢測工作過程中的條件和設

備運行狀態，如有錯誤系統發出錯誤操作或條件不足的提示指令，設備運

行更安全，操作人員能更方便地使用設備。

真空手套箱生產廠家，會提供安裝使用維護說明書，一般會到買家現場為

其安裝、調試手套箱。

操作前編輯

1、檢查氮氣瓶里是否有氮氣，氮氣要及時更換，氮氣的輸出壓力設定為

0.5mpa。

2、檢查真空泵是否正常開啟。

3、檢查手套箱內循環是否打開。（凈化柱-I或凈化柱-II要打開其中的一

個）

4、檢查設定里的上限壓力應為+1，下限壓力為0

5、檢查氧和露點是否正常（氧為0.1ppm以下，露點-40以上）

6、過度艙真空泵應處于常開狀態

操作時編輯

1、系統工作中真空泵應保持開啟狀態。

2、當箱內氧氣濃度超出200PPM時，應通知設備維修人員進行系統操作，否

則會破壞水、氧凈化系統

3、在啟動循環前做檢查，是否在進行箱體情況或再生。如以上提及的操作

正在進行，禁止進行循環。

4、:兩個凈化柱不可以同時再生。

A、再生前先保證手套箱內已被惰性氣體清洗干凈（H2O<200ppm）保證足夠

的再生氣體供應。再生氣體壓力為0.06-0.08mpa。

B、啟動再生之前，請先確認相應的凈化柱循環已關閉。

C、再生過程需要24小時，一旦執行不能被斷開，再生開始后3-6小時通再

生氣體注意再生氣的用量，適

當調整再生氣體的壓力，包證再生氣在這3小時的充足供應，第6小時后可

以關閉再生氣源。

D、再生過程中真空泵不可以關閉，不要觸摸凈化柱的頂部，以防。

E、再生一旦意外終止，請保證12小時內不能重新啟動該凈化柱的再生和循

環否則將損壞設備。

5、作業中應注意保護作業手套不要被損壞。

維修保養編輯

1.一級保養：

1.1 日常清潔。 每天一次

2.二級保養：

2.1緊固各部分易松動螺絲螺帽 。 每月一次

2.2緊固各電氣元器件。 3個月一次

2.3校正溫度。 3個月一次