小型離子濺射儀噴金厚度KT-Z1650CVD是一款小型臺式蒸發功率可控蒸發鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動擋板功能。
小型離子濺射儀噴金厚度通過定時調節預熱功率及蒸發功率，可對大部分金屬進行均勻蒸發沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。
技術參數
設備名稱 | 小型濺射儀 | 小型蒸鍍儀 |
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
工作電源 | 直流濺射電源 | 直流熱蒸發電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W | ≤1500W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A | 電壓≤12V 電流≤100A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa | |
腔體真空 | ≤30Pa | |
擋板類型 | 電控 | |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm | 石英腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （可安裝φ50基底） | |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 | |
樣品濺射源調節距離 | 40-105mm | 70-140mm |
蒸發坩堝容積 | 3ML | |
蒸發溫度調節 | ≤1600℃ | |
真空測量 | 皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） | |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 | |
可選配擴展 | 1 膜厚在線測試 2 分子泵 | |
公司簡介：
鄭州科探儀器設備有限公司是集開發、制造、經營為一體的材料設備創新型企業，如今公司的產品已經遍布國內大多數實驗室 及校，科探儀器已經成為老師 同學和信任的品牌。 公司以科技創新為主，服務社會為宗旨，積極設計開發新型材料制備設備，奉獻于教育和科學，經過長期的研發和不斷地技術積累，擁有熱工，制造，控制相關技術10余項，為化學，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發領域的科學研究提供了精良設備。公司通過和院校老師 同學強強聯合，形成了有效的信息，技術交流平臺，為科探儀器了解市場需求提供了強有力的支持！
目前公司已研發生產產品十多個系列幾十款產品，產品囊括實驗電爐 CVD供氣系統 小型離子濺射儀 等離子清洗機 小型離子濺射儀 小型蒸鍍儀 石英管真空封口 半導體等。 主要適用于科研院校及工礦企業在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。
公司與國內高校，科研院所有多層次的合作關系，建有開放實驗室，相關領域的教授、工程師、博士參與公司產品的研究和開發。我們秉承公司的發展理念，依靠嚴謹的技術研發能力，科學合理的生產工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產品質量和服務工作，科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。
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