直流磁控濺射儀，本儀器主要適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍膜導(dǎo)電膜(金膜),儀器操作簡單方便,配合中小型掃描電子顯微鏡制樣的儀器離子濺射儀的工作原理是在一個(gè)較低真空的腔體內(nèi)，將超過幾百伏特的電壓加載在負(fù)電極和正電極之間，使得輝光放電產(chǎn)生，使得正離子在電場的作用下對靶電極(負(fù)極)的轟擊加速，造成靶中原子濺射，使得一層簿膜在樣品上形成。10電子伏特為濺射原子的平均能量，因此會有非常大的熱量產(chǎn)生，為了使樣品不被灼傷，需要對被鍍材料特性以及是否需要采取特殊的防護(hù)方法格外注意。
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直流磁控濺射儀技術(shù)參數(shù)；
控制方式 | 7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） |
樣品臺轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計(jì)（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
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