行業標準 JJG_28-2000
產品技術規格
平晶標準尺寸單位（mm）
規格 | 直徑 | 厚度 |
30mm | Φ30 | 15mm |
45mm | Φ45 | 15mm |
60mm | Φ60 | 20mm |
80mm | Φ80 | 20mm |
100mm | Φ100 | 25mm |
150mm | Φ150 | 30mm |
200mm | Φ200 | 40mm |
250mm | Φ250 | 45mm |
300mm | Φ300 | 45mm |
400mm | Φ400 | 45mm |
500mm | Φ500 | 50mm |
600mm | Φ600 | 50mm |
按JJG_28-2000標準
1. 平晶精度：1級
2. 平面度誤差：
直徑 30mm~60mm 0.03μm
直徑 80mm~150mm 0.05μm
直徑 200mm~300mm 0.08μm
直徑 300mm~600mm 0.1~0.2μm
3. 平行度誤差：Ⅰ級 0.6μm
4. 平晶的材料：
檢驗標準 （GB 903-1987 無色光學玻璃）
5. 平晶必須放置在(20士5)℃和濕度不大于80 % RH的檢定室內進行等溫，等溫時間不少于8h
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