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1. 產品簡介

顯影機（WH-XY-01）是汶顥股份自主開發的具有獨立知識產權的一款產品， 針對光刻工藝中的顯影過程而設計開發的，可以對 7 英寸以下規格的硅片進行程控式自動化顯影。該設備可替代微流控芯片制作過程中的手動顯影環節，克服了手動顯影過程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時間不可控、同規格硅片間隔顯影效果不可控，上減少操作人員人為因素導致的顯影質量問題以及硅片的損壞。

顯影機（WH-XY-01）詳細說明書下載

顯影機主要特點如下：

1）顯影池搖晃震蕩頻率可設定,保證顯影液與硅片等接觸充分，提高顯影效果與質量；

2）可根據顯影的載體進行精確設定顯影托盤升降位置，從而確定顯影液的進入添加量，避免顯影液的浪費；

3）顯影液可以自動添加與排放，靈活更換；

4）友好的人機界面設計，保證操作人員的使用體驗與安全；

5）便攜性好，方便在實驗室移動；

6）腔體為SUS304材料的耐腐蝕腔體。

2. 技術參數 

震蕩方向：順時針/逆時針 ；

轉速：10～300RPM ；

液量控制：50～500mL ；

適配硅片/芯片：≤7 寸 ；

顯影時間：0～999s ；

進液速度：0～99% ；

電源輸入：AC220V±10V/50HZ ；

功率：150W ；

重量：14 kg ；

外形尺寸：375（W）* 380（D）* 300（H）mm ；

工作環境：溫度 0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %。

3. 特征圖解

備注：如需了解產品價格及其他技術內容可咨詢我司客服。